[发明专利]一种涂胶显影设备运动参数检测装置及方法

权利要求书

1.一种涂胶显影设备运动参数检测装置，其特征在于，包括：

控制器；

LK-G30传感头，设置于晶圆正上方，且连接控制器，接收控制器的采样触发信号，采集晶圆在不同转速下的端跳信息，发送给控制器；

LK-G500传感头，设置于正对机械手的位置，且连接控制器，接收控制器的采样触发信号，采集机械手的位置信息，发送给控制器；

电源模块，连接控制器，为控制器供电；

上位机，连接控制器，向控制器发送控制指令，并接收控制器发送的检测数据。

2.根据权利要求1所述的涂胶显影设备运动参数检测装置，其特征在于：所述控制器为LK-G3001V控制器，采用USB通讯接口。

3.一种涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于，包括：

在一个周期内，设定机械手的若干个设定位置，控制机械手运动到达设定位置，并通过LK-G500传感头采样当前设定位置的到位信息，并将到位信息发送给控制器；经过多个周期后得到到位信息数据集，分析到位信息数据集后提取到位信息特征值；

设定晶圆的若干个设定转速，控制晶圆旋转达到设定转速，并通过LK-G30传感头采样不同设定转速下的端跳数据，并将端跳数据发送给控制器，得到端跳数据集，分析端跳数据集后提取端跳特征值。

4.根据权利要求3所述的涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于：所述分析到位信息数据集后提取到位信息特征值以及分析端跳数据集后提取端跳特征值包括以下方法：峰峰值特征值提取方法、标准差特征值提取方法、偏度指标特征值提取方法以及峭度指标特征值提取方法。

5.根据权利要求4所述的涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于：所述峰峰值特征值提取方法包括：计算到位信息数据集中，一个周期内信号的最高值和最低值之间的差值，得出峰峰值。

6.根据权利要求4所述的涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于：所述标准差特征值提取方法包括：首先计算各标志值对其算数平均数的离差，然后求其离差平方，再求离差平方的算数平均数，得出方差，再求其平方根就是标准差，即

式中x为样本值，为均值，n为数据点个数；

标准差越大，代表大部分数值和其平均值间的差异越大，即抖动越大。

7.根据权利要求4所述的涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于：所述偏度指标特征值提取方法包括：

其中，k₂，k₃分别表示二阶和三阶的中心距，μ是均值，σ为标准差，E是均值操作。

8.根据权利要求4所述的涂胶显影设备运动参数检测方法，其特征在于：所述峭度指标特征值提取方法包括：

其中，x_i为样本值，为样本均值，N为采样长度，σ_t为标准差；

峭度指标是信号的四阶矩平均，反映振动信号的冲击特征。