[发明专利]一种电镀液比重调整盐添加方法在审
| 申请号： | 201910306692.5 | 申请日： | 2019-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN109930193A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 武立志;权循建 | 申请（专利权）人： | 合肥新汇成微电子有限公司 |
| 主分类号： | C25D21/14 | 分类号： | C25D21/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电镀液 比重调整 浓缩液 量测 盐添加 液位恢复 液位 添加剂 预估 不确定性 量测结果 辅助盐 添加量 金盐 维护 备用 | ||
1.一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1：S11：取PG-GOLD 2.5X浓缩液若干备用；S12：在需要维护的电镀液中添加金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂之后先确认液位恢复至设定液位再进行量测并依据量测值进行调整；
S2：量测之后根据量测结果计算出PG-GOLD 2.5X浓缩液的需要添加量，然后将PG-GOLD2.5X浓缩液分批次添加到需要维护的电镀液中，避免一次添加到位；
S3：S31：在添加PG-GOLD 2.5X浓缩液添加到需要维护的电镀液之后，待液位恢复至设定液位后再次进行量测；S32：量测时如遇有金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂，应按在金盐、辅助盐、添加剂及PH调整添加剂后并在确认液位恢复至设定液位后再进行量测之方式进行；
S4：量测后需再按前述方法进行再次计算PG-GOLD 2.5X浓缩液添加量，并按前述添加原则进行逐次添加；
S5：在每次添加后之量测，若需要维护的电镀液比重恢复至规格内，还有剩余前述计算添加之PG-GOLD 2.5X浓缩液时，剩余未添加PG-GOLD 2.5X浓缩液之量不再添加。
2.根据权利要求1所述的一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：所述PG-GOLD2.5X浓缩液每调高1L的电镀液的1波美度需要添加的PG-GOLD 2.5X浓缩液为40ml。
3.根据权利要求1所述的一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：所述PG-GOLD2.5X浓缩液分批添加时每次添加之添加量以槽体体积的0.5％为上限。
4.根据权利要求1所述的一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：所述PG-GOLD2.5X浓缩液分批添加到需要维护的电镀液中后液位主要的检测依靠观察光学传感器并且通过检测U型管的传感器来确定液位。
5.根据权利要求1所述的一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：所述PG-GOLD2.5X浓缩液分批添加时，每次添加后均要进行量测。
6.根据权利要求1所述的一种电镀液比重调整盐添加方法，其特征在于：所述PG-GOLD2.5X浓缩液添加晚上时，剩余未添加PG-GOLD 2.5X浓缩液需要重回储存罐储存。
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