[发明专利]反应气体供应系统及其控制方法

权利要求书

1.一种反应气体供应系统，用于向反应腔室提供反应气体；其特征在于，包括：供给调节装置和多个前驱物容器；前驱物容器用于向反应腔室提供反应气体；至少两个前驱物容器之间通过供给调节装置连通，其中，供给调节装置用于控制与其连通的一个或多个前驱物容器中的反应气体为与所述供给调节装置连通的其他前驱物容器提供附加的反应气体。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述供给调节装置包括：管路单元和管路控制单元；所述管路单元用于连通所述多个前驱物容器中的两个所述前驱物容器，以使一个前驱物容器中的反应气体通过所述管路单元连通另一个前驱物容器，提供附加的反应气体；所述管路控制单元用于控制所述管路单元的通断。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述管路单元包括：第一管路；所述管路控制单元包括：第一阀门装置；所述第一管路的两端分别与所述多个前驱物容器中的两个前驱物容器连接，所述第一阀门装置设置在所述第一管路中，用于控制所述第一管路的通断。

4.如权利要求3所述的系统，其特征在于，所述第一阀门装置包括：真空阀。

5.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述管路单元包括：第二管路和第三管路；所述管路控制单元包括：第二阀门装置和第三阀门装置；所述第二管路的两端、所述第三管路的两端分别与所述多个前驱物容器中的两个前驱物容器连接，所述第二阀门装置和所述第三阀门装置分别设置在所述第二管路和所述第三管路中，用于分别控制所述第二管路、所述第三管路的通断。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述第二阀门装置和所述第三阀门装置均包括：真空阀和单向阀；其中，所述第二阀门装置中的单向阀的导通方向与所述第三阀门装置中的单向阀的导通方向相反。

7.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述前驱物容器与所述反应腔室通过输气管路相连通；其中，所述前驱物容器内的前驱物通过挥发产生所述反应气体，所述反应气体通过所述输气管路输入所述反应腔室。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述前驱物容器包括：流量控制装置；所述流量控制装置设置在所述输气管路中，用于控制输入所述反应腔室的所述反应气体的流量。

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述管路单元的两端分别与所述多个前驱物容器中的两个前驱物容器的所述输气管路相连通；其中，一个前驱物容器的输气管路中的反应气体通过所述管路单元连通另一个前驱物容器的输气管路。

10.如权利要求9所述的系统，其特征在于，相对于所述反应气体在所述输气管路中向所述反应腔室输入的方向，所述管路单元与所述输气管路的连通点位于所述流量控制装置的上游。

11.如权利要求1所述的系统，其特征在于，前驱物容器与反应腔室为一一对应设置；一个前驱物容器通过供给调节装置分别与至少一个其他前驱物容器相连通。

12.一种基于权利要求1-11任一所述的反应气体供应系统的控制方法，其特征在于，包括：当反应腔室处于工艺阶段时，控制与所述反应腔室相对应的前驱物容器向该反应腔室提供反应气体；如果判断此反应气体的流量低于预设的流量阈值，则控制所述供给调节装置，以使其他前驱物容器中的反应气体连通所述前驱物容器，用以提供附加的反应气体；其中，与所述其他前驱物容器相对应的反应腔室处于闲置或非工艺阶段。