[发明专利]加工装置

权利要求书

1.一种加工装置，其具有对卡盘工作台所保持的被加工物进行加工的加工单元，其特征在于，

该加工装置具有检测单元，该检测单元在未利用该加工单元进行加工的状态下对加工装置的状态进行检测，

该检测单元包含：

多个振动源，该多个振动源各自具有旋转轴和对旋转轴进行旋转驱动的电动机，该多个振动源对该加工装置赋予规定的范围的频率的振动；

第1振动传感器，其设置于对被加工物进行加工的该加工单元的期望的部位，对从该多个振动源各自的旋转轴分别传播至该加工单元的期望的部位的振动进行测量；

第2振动传感器，其设置于对被加工物进行保持的该卡盘工作台的期望的部位，对从该多个振动源各自的旋转轴分别传播至该卡盘工作台的期望的部位的振动进行测量；以及

振动数据存储部，其对该第1振动传感器和该第2振动传感器所测量出的振动数据进行记录并储存，

该检测单元对该加工装置的该加工单元和该卡盘工作台各自的期望的部位的振动进行测量，直到在该多个振动源各自的电动机使对应的旋转轴分别以最高速进行旋转驱动的状态下切断电力供给而使该旋转轴以惯性旋转到停止为止，在该多个振动源各自的电动机使对应的旋转轴分别以最高速进行旋转驱动的状态下切断电力供给而使该旋转轴进行惯性旋转的转速区间中，获得该加工装置的该加工单元和该卡盘工作台各自的期望的部位的包含了与通过该多个振动源各自的旋转轴的旋转驱动而产生的振动对应地发生共振而产生了振动增加的振动增大区域的振动数据，

参照通过该检测单元的测量而获得的储存在该振动数据存储部中的振动数据，在不使用与振动增加的振动增大区域对应的该旋转轴的转速的情况下驱动该电动机而进行该加工单元对该被加工物的加工和由该卡盘工作台对该被加工物的保持。