[发明专利]一种表面检测装置、系统及方法

权利要求书

1.一种表面检测装置，其特征在于，包括：沿光线传播路径依次排列的光发射模块、反射模块和散射光探测回路；

所述光发射模块用于发射第一激光光束和第二激光光束；

所述反射模块包括反射转鼓和反射镜；

所述散射光探测回路用于接收所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到被测物体的表面后散射的第一散射光束，以及接收所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面后散射的第二散射光束；

其中，所述第一方向与所述被测物体的表面法向的夹角为A，0＜A＜90°；所述第二方向垂直于所述被测物体的表面；

所述反射转鼓的形状包括棱柱体、棱锥体或棱台中的任意一种，所述反射转鼓具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述反射转鼓的至少一部分外侧壁设有第一反射镜，所述第一反射镜用于接收所述第一激光光束和所述第二激光光束。

2.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述光发射模块包括：第一发射单元和第二发射单元；

所述第一发射单元用于发射所述第一激光光束；

所述第二发射单元用于发射所述第二激光光束。

3.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射镜包括离轴抛物面镜；

所述离轴抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合，且所述离轴抛物面镜的对称轴垂直于所述被测物体的表面。

4.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射镜包括半透半反抛物面镜；

所述半透半反抛物面镜的焦点与所述第二激光光束在所述反射转鼓的光斑重合。

5.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，还包括：工作台；

所述被测物体放置于所述工作台上，所述工作台沿第三方向移动；

其中，所述第一激光光束经过所述反射转鼓的反射并以第一方向投射到所述被测物体的表面完成的是第四方向的扫描；所述第二激光光束依次经过所述反射转鼓和所述反射镜的反射并以第二方向投射到所述被测物体的表面完成的是第五方向的扫描；所述第三方向和所述第四方向交叉，所述第三方向与所述第五方向交叉。

6.根据权利要求1所述的表面检测装置，其特征在于，所述反射转鼓包括层叠设置的第一反射子单元和第二反射子单元，所述第一反射子单元的转轴线和所述第二反射子单元的转轴线重合，所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁相接，且所述第一反射子单元的外侧壁和所述第二反射子单元的外侧壁之间的夹角不等于90°*L，L为自然数；

所述第一反射子单元的形状包括棱柱体，所述第一反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第一反射子单元的至少一部分外侧壁设有第一子反射镜，所述第一激光光束经过所述第一子反射镜投射到被测物体的表面上；

所述第二反射子单元的形状包括棱椎体或棱台，所述第二反射子单元具有依次邻接设置的多个外侧壁，所述第二反射子单元的至少一部分外侧壁设有第二子反射镜，所述第二激光光束依次经过所述第二子反射镜和所述反射镜投射到所述被测物体的表面。

7.一种表面检测系统，其特征在于，包括权利要求1-6任一项所述的表面检测装置、处理单元以及被检测物体传送接口。