[发明专利]一种具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备有效

专利信息
申请号: 201910303110.8 申请日: 2019-04-16
公开(公告)号: CN110323175B 公开(公告)日: 2023-01-06
发明(设计)人: 李彩华 申请(专利权)人: 深圳市正鸿泰科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/67
代理公司: 深圳市育科知识产权代理有限公司 44509 代理人: 汪剑云
地址: 518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 吸力 调节 功能 便捷 芯片 分拣 设备
【说明书】:

发明涉及一种具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备,包括真空泵、吸嘴和吸管,还包括调压机构和连接机构,所述连接机构包括升降套管和至少两个加固组件,所述加固组件包括传动杆、转动杆、固定杆和弹性绳,所述调压机构包括支撑杆、气缸、升降杆、隔离板、两个连接组件、至少两个通气孔和至少两个密封柱,所述连接组件包括导轨和滑动块,该具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备中,通过调节机构可以调节吸嘴对芯片的吸力,则降低了芯片在吸起的过程中发生损坏的几率,提高了芯片分拣设备的实用性,通过连接机构,提高了吸嘴拆装的便捷度,同时提高了吸嘴安装的牢固度,则进一步提高了芯片分拣设备的实用性。

技术领域

本发明涉及芯片分拣设备领域,特别涉及一种具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备。

背景技术

半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小,为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片,此时,粘接在背面的保持带虽然被切入若干,但没有被切断,成为保持各半导体芯片的状态,接着,被切断的各半导体芯片通过芯片分拣机从保持带拾取,拾取过程中,芯片首先从晶圆上顶起,随后通过吸嘴吸附芯片表面,实现剥离并转移。

现有技术的芯片分拣设备在使用的时候,如果吸取芯片的气压过大将会造成芯片受损,如果吸取芯片的气压过小将无法将芯片吸气,因此需要对气压进行精确的调节,不仅如此,芯片分拣设备的吸嘴在经过一段时间的使用之后,吸嘴将会发生老化磨损,因此更换吸嘴的效率将会影响芯片分拣设备的工作效率。

发明内容

本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有吸力调节功能的便捷型芯片分拣设备,包括真空泵、吸嘴和吸管,所述真空泵设置在吸管的一端,所述吸嘴的一端设有柱形凹口,所述柱形凹口与吸管匹配,所述吸管的另一端设置在柱形凹口的内部,还包括调压机构和连接机构,所述调压机构设置在吸管的内部,所述连接机构设置在吸管上,所述连接机构与吸嘴连接;

所述连接机构包括升降套管和至少两个加固组件,所述升降套管与吸管同轴设置,所述吸管穿过升降套管,各加固组件绕着吸管的轴线周向均匀设置在吸管的靠近吸嘴的一端的外周上,所述升降套管通过加固组件与吸嘴连接;

所述加固组件包括传动杆、转动杆、固定杆和弹性绳,所述固定杆与吸管的轴线垂直,所述固定杆的一端与吸管的靠近吸嘴的一端固定连接,所述转动杆的中部与加固杆的另一端铰接,所述转动杆的远离吸嘴的一端与传动杆的一端铰接,所述传动杆的另一端与升降套管铰接,所述固定杆通过弹性绳与升降套管固定连接,所述弹性绳处于拉伸状态;

所述调压机构包括支撑杆、气缸、升降杆、隔离板、两个连接组件、至少两个通气孔和至少两个密封柱,所述隔离板与吸管的轴线垂直,所述隔离板设置在吸管的内部,所述隔离板与吸管的内壁密封连接,各通气孔排列设置在隔离板上,所述支撑杆与隔离板平行,所述支撑杆固定在吸管的内部,所述升降杆与支撑杆平行,所述升降杆设置在支撑杆与隔离板之间,所述气缸与吸管同轴设置,所述气缸的一端与升降杆的中部固定连接,所述气缸的另一端与支撑杆的中部固定连接,所述连接组件设置在升降杆的一端,所述连接组件设置在吸管的内壁的一侧,各密封柱均与吸管的轴线平行,各密封柱沿着升降杆的轴线排列设置在升降杆的靠近隔离板的一侧,各密封柱的长度沿着升降杆的轴线的方向依次减短,所述密封柱的数量与通气孔的数量相等,所述密封柱与通气孔一一对应,所述密封柱与通气孔匹配。

作为优选,为了提高分拣设备的自动化程度,所述吸管上设有处理器和无线信号收发模块,所述无线信号收发模块与处理器电连接。

作为优选,为了提高升降杆的稳定性,所述连接组件包括导轨和滑动块,所述导轨与吸管的轴线平行,所述导轨设置在吸管的内壁的一侧,所述滑动块与升降杆的一端固定连接,所述滑动块的远离升降杆的一侧设有凹槽,所述凹槽与导轨匹配,所述导轨设置在凹槽的内部,所述滑动块与导轨滑动连接。

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