[发明专利]一种新型蒸镀坩埚装置

说明书

本发明涉及OLED蒸镀设备技术领域，特别是一种新型蒸镀坩埚装置，包括设置在工艺腔室下方的坩埚腔室，所述坩埚腔室均匀分隔为若干单独蒸镀腔室，所述单独蒸镀腔室底部可放入有坩埚，所述坩埚顶部左右两侧分别设置有把手，所述单独蒸镀腔室内壁开有与把手相对应的凹槽，所述单独蒸镀腔室内坩埚两侧设置有加热装置。采用上述结构后，本发明的单独蒸镀腔室可独立破真空，在蒸镀过程中，可在不影响其它材料的前提下单独为一个坩埚加装材料，节省时间与材料成本；每个单独蒸镀腔室内的坩埚取出更加便捷，直接从底部抽出即可；另外可以通过压力传感器实时监测坩埚内材料剩余量，及时提醒操作人员更换材料。

技术领域

本发明涉及OLED蒸镀设备技术领域，特别是一种新型蒸镀坩埚装置。

背景技术

在制造OLED时，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。目前在使用坩埚蒸镀用于制作OLED的有机材料时，先将有机材料盛放于坩埚内，坩埚外部包裹有加热丝，该加热丝在通电时可对坩埚进行加热，盛放在坩埚内的有机材料在高温下蒸发或升华为气体，气体上升并遇到位于坩埚上方的OLED 基板，在OLED基板上发生凝华，从而将有机材料蒸镀到OLED基板上。

中国发明专利CN 203976897 U公开了一种蒸发源装置和真空蒸镀设备，该蒸发源装置包括 ：蒸发腔室和对蒸发 材料进行加热并将加热后的蒸发材料传输至所述 蒸发腔室内的进料腔室，所述蒸发腔室与所述进 料腔室连接，在进行蒸镀过程中，可根据蒸发腔室 内的蒸发材料的余量和蒸发速率，通过进料腔室 对蒸发腔室进行加料。

发明内容

本发明需要解决的技术问题是提供一种能监测坩埚内剩余材料数量的新型蒸镀坩埚装置。

为解决上述技术问题，本发明的一种新型蒸镀坩埚装置，包括设置在工艺腔室下方的坩埚腔室，所述坩埚腔室均匀分隔为若干单独蒸镀腔室，所述单独蒸镀腔室底部可放入有坩埚，所述坩埚顶部左右两侧分别设置有把手，所述单独蒸镀腔室内壁开有与把手相对应的凹槽，所述单独蒸镀腔室内坩埚两侧设置有加热装置。

优选的，所述坩埚腔室为圆柱状，所述坩埚腔室均匀分隔为6个单独蒸镀腔室。

优选的，所述加热装置上端固定有隔热层，所述隔热上设置有压力传感器。

优选的，所述单独蒸镀腔室底部设置有取出阀门。

采用上述结构后，本发明的单独蒸镀腔室可独立破真空，在蒸镀过程中，可在不影响其它材料的前提下单独为一个坩埚加装材料，节省时间与材料成本；每个单独蒸镀腔室内的坩埚取出更加便捷，直接从底部抽出即可；另外可以通过压力传感器实时监测坩埚内材料剩余量，及时提醒操作人员更换材料。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

图1为本发明蒸镀腔室的结构示意图。

图2为本发明坩埚腔室的结构示意图。

图3为本发明坩埚的放置示意图。

图中：1为工艺腔室，2为坩埚腔室，3为坩埚，4为压力传感器，5为隔热层，6为加热装置，7为取出阀门。

具体实施方式

如图1所示，本发明的一种新型蒸镀坩埚装置，本发明的一种新型蒸镀坩埚装置，包括设置在工艺腔室1下方的坩埚腔室2，所述坩埚腔室均匀分隔为若干单独蒸镀腔室，这样将蒸镀坩埚设备单独设置成一个腔室，且一个大腔室内又分为若干个小腔室，各个坩埚互相独立，可单独抽、破真空。如图2所示，本实施方式中，所述坩埚腔室2为圆柱状，所述坩埚腔室2均匀分隔为6个单独蒸镀腔室，每个单独蒸镀腔室内都放置有坩埚。