[发明专利]光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置、面形精准集成组件及其制造方法

说明书

本发明涉及一种光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置、光学元件面形精准集成组件及其制造方法。所述光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置包括支撑装置及辅助定位装置，所述支撑装置用于套设于光学元件外围支撑所述光学元件，所述辅助定位装置用于套设在所述支撑装置及所述光学元件上以定位所述光学元件，所述支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层。

技术领域

本发明涉及一种光学元件面形精准集成组件，尤其是一种用于光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置、光学元件面形精准集成组件及其制造方法。

背景技术

光学元件面形精准集成组件在先进光学系统集成等领域中的应用愈发广泛。随着人类探索领域不断地向更加微观的领域前进，对先进光学系统提出了越来越高的需求，一方面：对光学元件精度要求高，如应用在基因测序仪、光刻机、晶元缺陷检测等领域的先进光学系统，均对光学元件单面面形提出了1/100～1/500波长(常规系统光学元件单面面形1/5～1/20波长)，精度相对常规系统提升至少20倍，元件集成带来的精度损失在常规系统中可以不予考虑，但是对于上述高精度显微先进光学系统，缺失是毁灭性的。另一方面：在保证高精度的同时，还要兼备高性价比适合批量化生产。

传统的光学元件面形精准集成组件中，其柔性连接通常采用弹片窄缝等柔性机构，或多种柔性装置组合构成，装置复杂，成本高，难以应用在批量化生产制造当中。因此，需要设计创新型的柔性连接机构，同时对高效、高性价比、具备可操作和实施性的光学元件面形精准集成组件提出了迫切需求。

现有面形精准集成组件通常包含两个部分，镜框和柔性连接部分，柔性连接部分通常采用，弹片窄缝等柔性机构，或多种柔性装置组合构成，装置复杂，为了实现精度保持器功能，在机械加工和装调集成环节付出很大代价，成本高，耗时长，难以应用在批量化生产制造当中。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明一种实施例提供一种光学元件面形精准集成组件的支撑及辅助定位装置，包括支撑装置及辅助定位装置，所述支撑装置用于套设于光学元件外围支撑所述光学元件，所述辅助定位装置用于套设在所述支撑装置及所述光学元件上以定位所述光学元件，所述支撑装置包括元件支撑部和连接所述元件支撑部上的连接部，所述元件支撑部用于支撑、放置所述光学元件，所述连接部用于套设于所述光学元件外围且包括邻近所述光学元件的第一内侧面及连接所述第一内侧面的注胶孔，所述注胶孔用于注入胶体使得所述第一内侧面与所述光学元件之间形成与所述光学元件柔性连接的胶合连接层；所述辅助定位装置包括定位部及第一延伸部，所述定位部用于设置于所述连接部上且套设并抵接所述光学元件的外侧面，所述第一延伸部连接所述定位部远离所述光学元件的一端且套设并抵接所述连接部的第一外侧面。

根据本发明优选实施例，所述连接部还包括第一外侧面，所述连接部的第一外侧面与所述连接部的第一内侧面相背设置，所述注胶孔贯穿所述连接部的第一内侧面与第一外侧面；所述注胶孔的数量为至少两个，所述至少两个注胶孔均匀分布在所述第一内侧面上。

根据本发明优选实施例，所述定位部包括定位部内侧面、连接所述定位部内侧面的定位部顶面与定位部底面、及与所述定位部内侧面向背设置的定位部外侧面，所述第一延伸部连接所述定位部底面的边缘，所述第一延伸部的第一延伸部内表面用于抵接所述连接部的第一外侧面，所述第一延伸部的第一延伸部外表面与所述定位部外侧面连接于一体；所述辅助定位装置还包括第二延伸部，所述第二延伸部连接所述定位部远离所述第一延伸部的一端。