[发明专利]基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂，其特征在于，包括20-40重量份的氨基苯并咪唑/Zn²⁺MOFs、30-50重量份的分子量不超过60的小分子醇、以及10-40重量份的极性不弱于六甲基磷酰胺的强极性有机溶剂，其中，所述氨基苯并咪唑/Zn²⁺MOFs具有如下式(I)所示的结构式：

并且，所述强极性有机溶剂选自N，N-二甲基甲酰胺、甲酰胺、二甲基亚砜中的至少一种。

2.如权利要求1所述基于金属有机框架材料MOFs的铜缓蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)以锌化物和2-氨基苯并咪唑为原料，反应生成具有如下式(I)所示的金属有机框架材料MOFs；

并且，所述原料中锌离子与2-氨基苯并咪唑两者的摩尔比满足1:2～2.6；

(2)将步骤(1)得到的所述金属有机框架材料MOFs与小分子醇、强极性有机溶剂搅拌混合，即可得到铜缓蚀剂；其中，所述强极性有机溶剂选自N，N-二甲基甲酰胺、甲酰胺、二甲基亚砜中的至少一种。

3.如权利要求2所述制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述反应具体为溶剂热反应；该溶剂热反应包括两个加热阶段，首先，在60～90℃下保温反应0.5～2小时；然后继续升温，在120～160℃下保温反应18～36小时；

该溶剂热反应所采用的溶剂为有机溶剂，反应开始前，所述有机溶剂的量控制在使溶液体系中锌离子浓度为0.2～0.3mol/L。

4.如权利要求3所述制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，所述锌化物选自硫酸锌、碳酸锌、硝酸锌、四水合硝酸锌中的至少一种；所述有机溶剂选自N-N二甲基甲酰胺，甲酰胺，二甲基亚砜，N-N二甲基乙酰胺中的至少一种。

5.如权利要求2-4任意一项所述制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，所述小分子醇选自甲醇、乙醇、异丙醇中的至少一种。

6.一种金属有机框架材料MOFs作为主体材料在铜缓蚀剂中的应用，能够有效抑制铜单质或铜合金材料的腐蚀，其特征在于，所述金属有机框架材料MOFs具体为氨基苯并咪唑/Zn²⁺MOFs，其具有如下式(I)所示的结构式：