[发明专利]多晶硅锭及多晶硅锭的制造方法

权利要求书

1.一种多晶硅锭的制造方法，其特征在于，具有：

铸造工序S21，使用具有上部加热器、下部加热器和载置坩埚的空心的冷却板的铸造装置，将坩埚内部用Ar气体置换之后，将所述上部加热器设为1500℃，将所述下部加热器设为1450℃，在Ar气氛中溶解Si原料来生成硅融液，之后切断所述下部加热器，向所述冷却板内部供给Ar气体，以0.01℃/min对所述上部加热器的温度进行降温，使所述硅熔液朝向上方的单向凝固来制造锭，所述上部加热器位于所述坩埚的上方，所述下部加热器位于所述坩埚的下方；

坩埚内热处理工序S22，对于凝固后的所述锭，在所述铸造装置内，在所述坩埚内再次接通所述下部加热器，将所述锭由所述上部加热器和所述下部加热器以1100℃保持2小时，之后进行炉冷并在200℃下从炉中取出；及

再热处理工序S23，从所述铸造装置取出凝固结束后经过冷却的所述坩埚内热处理工序之后的所述坩埚，并从所述坩埚中取出所述锭之后，装入热处理炉内并以100℃/小时升温至1200℃，保持2小时之后进行冷却并在300℃下从炉中取出，

所述方法具备热处理条件设定工序S11～S13，用于设定所述坩埚内热处理工序及所述再热处理工序的热处理条件，

所述热处理条件设定工序S11～S13具备:试制工序S11，通过预先进行所述铸造工序S21、所述坩埚内热处理工序S22以及所述再热处理工序S23来对试制锭进行试制；最大主应变量评价工序S12，评价所述试制锭的最大主应变量，

所述最大主应变量评价工序S12具备：应变仪贴付工序S02，沿着所述试制锭的一端面隔着间隔在多处贴付三轴仪；初始应变测定工序S03，使用所述应变仪在所述多处测定所述试制锭的切断前的应变；切断工序S04，在各个所述应变仪到各个切断面为止的距离为5mm～25mm的方式向垂直方向在多处切断所述试制锭；和切断后应变测定工序S05，在所述多处测定切断后的所述试制锭的应变，

所述坩埚内热处理工序S22中的热处理条件为所述铸造装置内的加热温度、保持时间以及炉冷时的冷却速度，

所述再热处理工序S23中的热处理条件为所述热处理炉内的再加热时的加热速度、加热温度、保持时间和冷却速度，

在所述最大主应变量评价工序S12中，在所述试制锭的切断前和切断后测定所述三轴仪的2个正交的测量仪的应变ε₁和ε₂、以及从所述2个测量仪分别呈45°方向的测量仪的应变ε₃，由以下式(1)计算最大主应变量ε_max，

在所述最大主应变量评价工序S12中，在所述试制锭的所述多处计算出的所述最大主应变量ε_max在至少一处超过10με时，改变所述试制工序S11中的所述坩埚内热处理工序S22和再热处理工序S23的热处理条件，再次进行所述试制工序S11来制作试制锭，

在所述最大主应变量评价工序中，在所述试制锭的多处计算出的所述最大主应变量ε_max均成为10με以下时，将该试制时的坩埚内热处理工序和再热处理工序的热处理条件作为在所述热处理条件设定工序中设定的热处理条件，进行所述铸造工序S21、所述坩埚内热处理工序S22以及所述再热处理工序S23，由此制造出多晶硅锭，