[发明专利]一种爬行式压电精密驱动装置

说明书

本发明涉及一种爬行式压电精密驱动装置，由两组压电叠堆、两组非对称三角形柔性铰链机构、动子、预紧螺钉、预紧楔块和底座组成。两组压电叠堆在电压信号驱动下可伸长和恢复；两组非对称三角形柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；预紧螺钉和预紧楔块调节非对称三角形柔性铰链机构与动子间的初始预紧力；底座起支撑作用。本发明两个压电叠堆在电压时序控制下，交替提供驱动，使非对称三角形柔性铰链机构做仿生爬行运动，既增加了输出负载，又消除了运动周期内动子的回退现象，提高了装置的输出性能，实现了动子的直线运动。该装置可应用于超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、生物技术领域。

技术领域

本发明涉及精密超精密加工、微纳操作机器人、微机电系统程领域，特别涉及一种爬行式压电精密驱动装置。

背景技术

具有微/纳米级定位精度的精密驱动技术是超精密加工与测量、光学工程、现代医疗、航空航天科技等高尖端科学技术领域中的关键技术。为实现微/纳米级的输出精度，现代精密驱动技术的应用对驱动装置的精度提出了更高要求。传统的驱动装置输出精度低，整体尺寸大，无法满足现代先进科技技术中精密系统对微/纳米级高精度和驱动装置尺寸微小的要求。压电陶瓷驱动器具有体积尺寸小、位移分辨率高、输出负载大、能量转换率高等优点，能实现微/纳米级的输出精度，已经越来越多地被应用到微定位和精密超精密加工中。现有的压电惯性驱动装置通常将压电元件和动子质量块平行放置于其运动方向，预紧力垂直于压电元件的主输出方向，整体装置的输出负载主要依赖于预紧力产生的摩擦力。然而压电元件如压电叠堆，通常采用d₃₃的工作模式，其在垂直于主输出方向的截面上刚度较小，产生的预紧力较小，导致整体装置的输出负载大大降低，压电元件在主输出方向的较大刚度没有得到充分的利用；单个压电叠堆提供的输出负载小；运动中的回退现象进一步降低输出性能。因此，有必要设计一种充分利用压电叠堆主输出方向的刚度，消除回退现象，提高输出负载，进一步提高压电驱动装置的输出负载的新型仿生爬行式压电精密驱动装置。

发明内容

本发明的目的在于提供一种爬行式压电精密驱动装置，解决了现有技术存在的上述问题。本发明具有结构简单紧凑，输出精度高，输出刚度和输出负载大，输出频率高的特点，同时能实现直线运动输出功能。

本发明采用两组压电驱动单元，压电叠堆的主输出方向与动子运动方向垂直布置，采用两个由两个薄壁圆弧式柔性铰链连接的非对称三角形柔性铰链机构，在两个压电叠堆的交替驱动下，非对称三角形柔性铰链机构按照时序依次做寄生惯性运动，实现仿生爬行，可消除运动周期内动子的回退现象，大大提高装置的输出性能，实现动子沿某一方向的直线运动。

本发明的上述目的通过以下技术方案实现：

一种爬行式压电精密驱动装置，包括两组压电驱动单元I和II，及动子(5)和非对称三角形柔性铰链机构I、II(4、6)、压电叠堆I、II(3、7)、预紧楔块I、II(2、8)、预紧螺钉I、II(1、9)、底座(10)，所述精密驱动装置利用寄生惯性原理实现微纳米级仿生爬行式精密直线驱动。动子(5)采用带有滑块的高精度直线导轨，导轨通过螺钉固定在底座(10)上；非对称三角形柔性铰链机构I、II(4、6)通过螺钉安装在底座(10)上；预紧楔块I、II(2、8)分别布置在压电叠堆I、II(3、7)和非对称三角形柔性铰链机构I、II(4、6)之间，压电叠堆I、II(3、7)可通过预紧楔块I、II(2、8)进行预紧；预紧螺钉I、II(1、9)紧固在底座(10)上，与非对称三角形柔性铰链机构I、II(4、6)下端接触；非对称三角形柔性铰链机构I、II(4、6)由两个薄壁圆弧式柔性铰链连接，组成非对称三角形，其上端弧形结构与动子(5)接触；底座(10)起支撑和安装固定其他零件作用。