[发明专利]气体分析装置

说明书

本发明提供一种气体分析装置，该气体分析装置(1)具备：向包含待测气体(G)的测定区域(R1)照射测定光的发光部(21)；使发光部(21)所照射的测定光反射的反射部(15)；接收经反射部(15)反射后的测定光的光接收部(22)；以及扩大反射部(15)上测定光的光束直径(W)的调整部(24)。

相关申请的交叉引用

本申请享有2018年4月16日在日本提出第2018-078486号专利申请的优先权，并援引该申请公开的全部内容并入本申请。

技术领域

本发明涉及气体分析装置。

背景技术

以往，已知有例如专利文献1所记载的气体浓度测定装置那样利用光学方法求得在规定的流路中流过的待测气体的浓度的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2010－185694号公报。

发明内容

发明所要解决的技术问题

专利文献1记载的气体浓度测定装置在待测气体中延伸的探针部的尖端设有将测定光向光接收部反射的反射镜。此时，若例如探针部振动而使其尖端的位置发生变化，则因位置改变导致反射镜对测定光的反射量下降，光接收部的光接收量下降。

本发明的目的在于提供一种气体分析装置，即使是在发生振动的环境下，也能够确保光接收部具有用于分析浓度所需的测定光的光接收量。

解决技术问题所采用的技术方案

根据一个或多个实施方式的气体分析装置包括：向包含待测气体的测定区域照射测定光的发光部；将所述发光部所照射的所述测定光反射的反射部；接收经所述反射部反射后的所述测定光的光接收部；以及扩大所述反射部上所述测定光的光束直径的调整部。从而，即使在发生振动的情况下，也能够确保光接收部具有用于分析浓度所需的测定光的光接收量。更具体而言，通过扩大测定光，即使在具有反射部的探针部在谐振点上发生振动时，也能够在其振动范围内使发光部所照射的测定光射入反射部。

在根据一个实施方式的气体分析装置中，所述调整部可以扩大所述测定光的光束直径，使其大于所述反射部在与所述测定光的光轴大致正交的方向上的宽度。从而，即使在谐振点上反射部的位置上下前后发生偏移，也会有一部分测定光射入反射部。因而，光接收部能够稳定地接收由反射部反射的测定光。

在根据一个实施方式的气体分析装置中，所述调整部可包括设置在所述发光部与所述测定区域之间且使所述测定光聚焦的光学透镜。从而，能够将测定光的光束直径粗调到所期望的值。因而，气体分析装置的气体浓度指示值的变动大幅减小。结果，针对探针部尖端位移的测定承受力得到提高。

在根据一个实施方式的气体分析装置中，所述光学透镜可以是平凸透镜，所述平凸透镜的平面与所述发光部相向，所述平凸透镜的凸面与所述测定区域相向。

在根据一个实施方式的气体分析装置中，所述调整部还包括沿着所述测定光的光轴使所述光学透镜与所述发光部之间的距离发生变化的调整机构。从而，能够将测定光的光束直径微调到所期望的值。因而，气体分析装置的气体浓度指示值的变动进一步减小。结果，针对探针部尖端位移的测定承受力进一步提高。

在根据一个实施方式的气体分析装置中，所述调整机构可包括由固定了所述光学透镜的固定部进行支承从而能够绕着与所述光轴大致平行的轴旋转的调整螺钉，该调整螺钉的一个端部与所述发光部接触，另一个端部从所述固定部向所述发光部的相反侧露出。

根据一个实施方式的气体分析装置还包括沿着所述测定光的光轴以与所述测定区域重叠的方式延伸的探针部，所述反射部位于所述探针部的与所述发光部相反侧的尖端。从而，气体分析装置可以实现例如将光源、反射构造、光检测器一体地内置的探针型结构。