[发明专利]复合絮凝剂及其絮凝方法、循环再生利用方法与系统

说明书

本发明提供了一种复合絮凝剂及其絮凝方法、循环再生利用方法和系统。复合絮凝剂包括以下重量百分比的各组分：阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯25％～60％，阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺40％～75％。本发明通过带正电荷的阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯吸附于带负电荷的胶质微粒的表面形成絮凝物，并与胶质微粒表面的负电荷中和，而使带负电荷的胶质微粒之间的反作用力减少。接着阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺再与阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯相互吸引，从而使絮凝物的粒径增大，以便于后续的分离工艺。且该复合絮凝剂进行絮凝后得到的絮凝物的含水量较低，便于运输处理。且滤液透明，能够回收利用，避免了废液对水资源污染的问题。

技术领域

本发明涉及电子器件加工技术领域，特别涉及一种复合絮凝剂及其絮凝方法、循环再生利用方法和系统。

背景技术

在半导体器件、液晶显示器、印制电路板等电子部件的制造工序中，均会使用光刻工艺形成电路。即在基板上形成负性或正性的光致抗蚀剂膜，通过掩模底片以规定的图案对光致抗蚀剂膜照射紫外光线，接着用显影液显像，再除去未曝光的部分，以此在基板表面形成规定的电路图案。

目前，光致抗蚀剂大部分由碱性可溶树脂主剂、填料、光敏剂、颜料、助剂等组成，显影液大部分都是碳酸盐型溶液。显影过程即显影液与未感光的碱性可溶树脂主剂发生皂化溶解过程，而产生半胶质化的带负电荷的微粒。随着显影的进行，带负电荷的微粒越来越多，而使显影的速度不断降低，且伴随有未显影部位颗粒或未溶解物的残存，进而影响显影过程的品质。当达到一定溶膜量时，为保证显影的品质，显影液就要废弃。

但溶解了大量碱性可溶性树脂的显影液废液，化学耗氧量值很高，达到了5000-10000毫克/升，需要作为高浓度有机废水处理，因此成本很高。目前常用的方法之一如下：首先酸化显影液废液，使碱性可溶性树脂成分析出，然后将已析出碱性可溶性树脂的显影液废液导入综合废水池中，进行混合综合处理。但处理后的显影液废液不能循环利用，造成浪费。

发明内容

本发明的目的在于提供一种循环再生利用方法、循环再生利用系统及其复合絮凝剂，以解决现有技术中显影液废液浪费的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种复合絮凝剂，包括以下重量百分比的各组分：阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯25％～60％，阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺40％～75％。

在其中一实施方式中，包括以下重量百分比的各组分：所述阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯50％，阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺50％。

本发明还提供一种采用如上所述的复合絮凝剂的絮凝方法，包括以下步骤：

S11、先将所述阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯加入至待絮凝的溶液中，并进行搅拌2～3分钟；

S12、接着加入所述阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺并进行搅拌2～3分钟。

本发明还提供一种循环再生利用方法，用于对显影液废液进行回收再利用，包括以下步骤：

S21、在所述显影液废液中加入如上所述的复合絮凝剂，得到絮凝物和滤液的混合物，所述复合絮凝剂与所述显影液废液的重量百分比为0.05％～0.1％；

S22、对所述混合物进行固液分离，得到分离后单独的絮凝物和滤液；

S23、对所述滤液进行脱色处理，得到脱色后的清液；

S24、将所述清液的pH值调整至12，即得到能再次使用的显影液。

在其中一实施方式中，所述复合絮凝剂的阳离子高分子凝集剂聚甲基丙烯酸酯先加入所述显影液废液中并搅拌2～3分钟，接着再加入阴离子高分子凝集剂聚丙烯酰胺并搅拌2～3分钟，然后静置一定时间。

在其中一实施方式中，所述固液分离采用高速离心分离、离子交换树脂分离、碳芯过滤分离或棉芯过滤分离。