[发明专利]一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘、制造方法及应用

权利要求书

1.一种高强高韧碳化硅陶瓷载盘，其特征在于：所述碳化硅陶瓷载盘的制作材料包括以下质量份的成分：

碳化硅70～95份；碳化硅晶须2～10份；

碳化钨1～15份；碳化硼0.5～5份；

粘结剂1～10份；润滑剂0.5～10份。

2.根据权利要求1所述的高强高韧碳化硅陶瓷载盘，其特征在于：所述碳化硅粉体的粒径为0.2～0.8μm；碳化硅晶须的粒径为0.1～5.0μm，长径比在20～70；碳化钨粉体的粒径为0.1～3.0μm，碳化硼粉体的粒径为0.1～1.5μm。

3.根据权利要求1所述的高强高韧碳化硅陶瓷载盘，其特征在于：所述粘结剂为酚醛树脂，润滑剂为液体石蜡。

4.一种如权利要求1所述高强高韧碳化硅陶瓷载盘的制造方法，其特征在于：所述方法的步骤为：

a、配料混料：将质量份分别为70～95份的碳化硅、2～10份的碳化硅晶须、1～15份的碳化钨以及0.5～5份的碳化硼加入到高能球磨机中，搅拌混合均匀，得到混合粉体；

b、制浆：将混合粉体加入到砂磨机中，添加混合粉体总质量50％的酒精、1～10份的粘结剂和0.5～10份润滑剂，搅拌混合均匀，得到混合浆料；

c、喷雾干燥：将混合浆料在喷雾造粒机中干燥，过筛得到复合粉体；

d、等静压成型：将复合粉体放入橡胶模具中，在等静压机中成型得到圆盘素胚；

e、烧结：将成型后的圆盘素胚置于真空炉烧结，得到陶瓷载盘粗坯；

f、精加工：将烧结后的陶瓷载盘粗坯经过平面研磨、倒角和双面抛光加工过程得到碳化硅陶瓷载盘。

5.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于：所述步骤c中，喷雾造粒机的进口温度在170～180℃，出口温度为60～70℃。

6.根据权利要求2所述的制造方法，其特征在于：所述步骤e中，最高烧结温度为2100～2300℃，保温时间为0.5～3小时。

7.一种如权利要求1所述高强高韧碳化硅陶瓷载盘的应用，其特征在于：所述碳化硅陶瓷载盘应用于装配化学机械抛光装置。