[发明专利]一种溅镀设备及其传送机构的停复方法

说明书

一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，包括功能腔室、传送机构和防护门，所述功能腔室设置于所述传送机构侧面，在所述传送机构两侧设置有两个防护门，并在两个所述防护门上均设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，同时只有在完全停止所述传送机构后才能开启所述防护门；有益效果：通过在两个所述防护门上设置一键停复按钮，可以在工作人员穿行所述传送机构时做到一键启停所述传送机构，保证了工作人员的安全并缩短溅镀机保养和维修时导致生产停止的时间。

技术领域

本发明涉及一种显示面板工艺制程中使用的溅镀机设备，尤其涉及一种溅镀设备及其传送机构的停复方法。

背景技术

溅镀，通常指的是磁控溅镀，属于高速低温溅镀法。该工艺要求真空度在1×10^-3Torr(托，压强单位)左右，即1.3×10^-3Pa的真空状态充入惰性气体氩气(Ar)，并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电，由于辉光放电(glow discharge)产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上。

溅镀机由真空室，排气系统，溅射源还有传送装置等设备组成，当溅镀机宕机或者需要保养时，工作人员需要通过传送机构进入内部进行设备检查等操作，但是当人员在通过传送机构时，需要停止设备，且传送机构上还有载物架，存在作业高风险，也会影响正常生产时间。

为减少人员工作时的危险性以及生产损失，本发明提供一种新型的溅镀设备及其传送机构的停复方法。

发明内容

本发明提供一种溅镀设备及其传送机构的停复方法，所述溅镀机传送机构两侧设置有两个防护门，通过在两个所述防护门上都设置一键停止按钮和一键启动按钮来控制所述传送机构的启停，以解决现有装置中人员工作时具有危险性以及生产损失较大的问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种溅镀设备，包括：

至少一个功能腔室，所述功能腔室为溅镀室和/或电源设备室；

传送机构，为传送产品至溅镀机的装置，且所述功能腔室设置于所述传送机构侧面；

内防护门，设置于所述传送机构的一侧，且位于所述功能腔室与所述传送机构之间，所述内防护门上设置有一键启动按钮和一键停止按钮；

外防护门，设置于所述传送机构的另一侧，所述外防护门上同样设置有一键启动按钮和一键停止按钮。

根据本发明一优选实施例，所述传送机构上运载载物架，所述载物架上承托产品，且所述传送机构包括至少一个传送单元，每个所述传送单元独立运行。

根据本发明一优选实施例，所述传送单元的传送速率均相同。

根据本发明一优选实施例，所述外防护门上设置有开门杆，位于所述外防护门靠近所述传送机构一面。

根据本发明一优选实施例，所述内防护门上设置有电磁铁吸盘；

通电时则所述内防护门为无法开启状态，断电时则所述内防护门为可开启状态。

根据本发明一优选实施例，所述内防护门上设置有紧急机械关闭开关，为紧急停止所述传送机构的开关。

根据本发明一优选实施例，所述外防护门和所述内防护门上的两个所述一键启动按钮为并联设置，两个所述一键停止按钮为并联设置。

一种溅镀设备的传送机构停复方法，用于控制所述传送机构启停，以便于工作人员安全穿行，所述方法包括以下步骤：

S10、按下进口侧防护门上的一键停止按钮；