[发明专利]一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法在审
| 申请号： | 201910279587.7 | 申请日： | 2019-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN111792849A | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 谢俊;谷洛兵;王广雷;徐凯;韩建军 | 申请（专利权）人： | 武汉理工大学 |
| 主分类号： | C03C12/00 | 分类号： | C03C12/00;C03B20/00 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张秋燕 |
| 地址： | 430070 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 射频 等离子体 制备 石英玻璃 方法 | ||
1.一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于工艺步骤如下：
（1）将石英砂颗粒进行筛分，筛分出目标粒径范围150～500目的石英砂颗粒；
（2）将步骤（1）筛分出的石英砂颗粒以1～10g/min的下料速度通入等离子体炬中，被RF氩等离子火焰加热熔融，之后在安设于等离子体炬下方的换热器内下落过程中被冷却，得到石英玻璃微球。
2.根据权利要求1所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述等离子体炬通入氩气作为中心气体，通过使用射频电流加热中心气体使其电离产生等离子体火焰。
3.根据权利要求2所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述中心气体流量为15～30L/min，射频电流频率为2～5MHz，等离子体火焰的功率为30～40KW，等离子体炬内的压力控制为1.5～15pisa。
4.根据权利要求1所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述等离子体炬通入鞘气作为保护气体，保护气体的总流量为50～60 L/min。
5.根据权利要求1所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述等离子体炬通入氩气作为分散气体，分散气体的流量为0～5L/min。
6.根据权利要求1所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述等离子体炬根据需要通入氩气作为载气，载气流量为0～3L/min。
7.根据权利要求1所述的一种射频等离子体制备石英玻璃微球的方法，其特征在于所述换热器采用不锈钢套管，套管的内管和外管之间的夹层内通入循环冷却水。
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