[发明专利]直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法

说明书

一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，主要是将直燃式焚烧炉的排气通过至少三个以上的热交换器来进行热回收，并将该直燃式焚烧炉的排气再通过一个热交换器和吸附区出口的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再输送到该除尘设备中，以进行粉尘或二氧化硅(SiO₂)等氧化物的分离，最后再将由该除尘设备所输出的气体输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放，让该烟囱的排放量能降低，并使有机废气的处理效率能提升。

技术领域

本发明涉及一种直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，尤其是 涉及一种用来将燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，且不 用经过该烟囱来进行排放，使有机废气的处理效率能提升，而适用于半导 体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。

背景技术

目前在半导体产业或光电产业的制造生产过程中都会产生具有挥发 性有机气体(VOC))，因此，在各厂区都会安装处理挥发性有机气体(VOC) 的处理设备，以避免挥发性有机气体(VOC)直接排入空气中而造成空气 污染。而目前通过该处理设备所脱附的浓缩气体大都是输送到该焚烧炉来 进行燃烧，再将燃烧后的气体来输送到烟囱来进行排放。

发明内容

因此，本发明人有鉴于上述缺失，提出一种具有提升有机废气处理效 率的直燃回流高效率有机废气处理系统及其方法，令使用者可轻易操作组 装，乃潜心研思、设计组制，以给使用者提供便利，为本发明人所欲研发 的发明动机。

本发明的主要目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统 及其方法，主要将直燃式焚烧炉的排气通过至少三个以上的热交换器来进 行热回收，并将该直燃式焚烧炉的排气再通过一个热交换器和吸附区出口 的净气排放管路的排出气体(吸附处理气体)进行热交换，而得以冷却再 输送到该除尘设备中，以进行粉尘或二氧化硅(SiO₂)等氧化物的分离， 最后再将由该除尘设备所输出的气体输送到该废气进气管路，使燃烧后的气体能进入该吸附转轮的吸附区循环利用，而不经过该烟囱来进行排放， 让该烟囱的排放量能降低，并使有机废气的处理效率能提升，进而增加整 体的实用性。

本发明的另一目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统 及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路， 且该连通管路设有一连通控制阀门，而该热气输送管路设有一热气控制阀 门，并通过该连通控制阀门及该热气控制阀门来形成比例风门，从而，通 过该连通控制阀门及该热气控制阀门的设计来形成具有比例风门的效能， 以能调整控制风力的大小，让该热气输送管路内的温度能保持一定高温来 提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而增加整体 的使用性。

本发明的再一目的，在于提供一种直燃回流高效率有机废气处理系统 及其方法，通过该冷却气输送管路与该热气输送管路之间设有一连通管路， 且该连通管路设有一连通控制阀门，而该冷却气输送管路设有一冷却气控 制阀门，并通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门来形成比例风门，从 而，通过该连通控制阀门及该冷却气控制阀门的设计来形成具有比例风门 的效能，以能调整控制风力的大小，让该热气输送管路内的温度能保持一 定高温来提供给该吸附转轮的脱附区使用，并具有节省能源的效能，进而 增加整体的操作性。

为了能够更进一步了解本发明的特征、特点和技术内容，请参阅以下 有关本发明的详细说明与附图，其中所附附图仅提供参考与说明用，非不 用于限制本发明。

附图说明

图1为本发明第一种实施方式的主要步骤流程图；

图2为本发明第一种实施方式的主要架构示意图；

图3为本发明第一种实施方式的第一种比例风门的架构示意图；

图4为本发明第一种实施方式的第二种比例风门的架构示意图；