[发明专利]一种复杂构型纳米马达的制备方法在审
| 申请号： | 201910268940.1 | 申请日： | 2019-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN110002397A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 芦小龙;沈晖;赵康东;王志文 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | B82Y30/00 | 分类号： | B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 贺翔 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阵列结构 制备 马达 复杂构型 纳米技术领域 工作模式 光刻技术 结构稳定 局部流场 纳米球体 定制化 精准度 驱动板 微尺度 球体 超声 捕获 加工 装配 流动 | ||
1.一种复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)以驱动板作为基板，将光刻胶在驱动板上进行匀胶处理，运用光刻技术进行微尺度阵列结构的加工，在驱动板的一端粘结换能器，得到声操控平台；
(2)将含有纳米球体的悬浮液铺展在步骤(1)得到的声操控平台上，形成单层的球体结构；
(3)引入超声场，纳米球体在声流作用下被所述微尺度阵列结构捕获并围绕着所述微尺度阵列结构进行装配，形成特定的复杂结构体；
(4)静置至悬浮液蒸发后，在步骤(3)形成的复杂结构体上磁控溅射分子膜；
(5)将复杂构型纳米马达和声操控平台进行分离得到复杂构型纳米马达。
2.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述的驱动板为硅基板或者玻璃板；所述微尺度阵列结构为圆形、方形、V形、直线形、螺旋形或以上结构叠加而成的结构形式。
3.根据权利要求1或2所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述的驱动板厚度为1mm；所述微尺度阵列结构厚度为1~20μm。
4.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(1)所述换能器厚度为0.5mm。
5.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述的纳米球体为磁性纳米球体或非磁性纳米颗粒。
6.根据权利要求1或5所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(2)所述的纳米球体尺寸为800nm~50μm。
7.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(3)所述的超声场频率为50KHz~300KHz，所述复杂结构体为环形、U形或长链形。
8.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(4)所述的磁控溅射分子膜为SiO2或SiNx。
9.根据权利要求1所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(5)所述的复杂构型纳米马达为对称结构。
10.根据权利要求1或9所述的复杂构型纳米马达的制备方法，其特征在于，步骤(5)所述纳米马达运动方式为旋进或平进。
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