[发明专利]柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗工艺及设备

权利要求书

1.一种柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗工艺，其特征在于：

a、上料机从花篮中依次把电池片抽出，通过流道皮带的传输和吸盘吸取把电池片放置到转盘的第一工位上，电池片正面朝下通过真空吸附固定电池片；

b、转盘将电池片转到第二工位；底部照明与成像根据电池片正面的特征图案对电池片进行定位，定位后第一扫描头出光，在电池片背面指定区域打印电池片序列号以及二维码；同时第二扫描头也出光，在指定位置给电池片背电极开窗；所述第二工位开窗激光器为9400nm的CO2激光器；激光光束在外光学腔中经过光斑整形器DOE整形后，形成能量密度均匀的平顶光斑；加工后的圆孔直径为430微米，圆度大于85%，圆孔边缘坡级高度差 15~20um；所述激光开窗为多个电池片同时进行，往复激光开窗3次以上，总开窗时间为3秒；

d、转盘将电池片转到第三工位；对激光加工后的电池片进行检测，通过成像和照明系统，用高倍-低倍摄像头拍摄加工区域整体和局部图像，使用图像处理对激光加工区域的各项指标进行测量；

e、转盘将电池片转回到第一工位；电池片由吸盘吸取至下料流道，电池片流向下一道加工工序。

2.一种如权利要求1所述工艺的柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗设备，包括基座（1）和旋转平台（2），其特征在于：还包括有上下料单元（3）、定位单元（4）、打码切割单元（5）和检测单元（6），所述旋转平台（2）可将电池转动输送到其每个工作单元。

3.根据权利要求2所述的一种柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗设备，其特征在于：所述打码切割单元（5）的激光器分为上光路（5-1）和下光路（5-2），上光路分别通过扩速器（10）、光斑整形器DOE（7）、衰减器（8）以及功率计（9）进行激光切割。

4.根据权利要求2所述的一种柔性砷化镓薄膜电池背电极激光开窗设备，其特征在于：所述上下料单元（3）为旋转平台，其包括旋转台（3-1）、安装在旋转台上的两个料臂（3-2）。