[发明专利]射频电压电流复合探头

权利要求书

1.一种射频电压电流复合探头，其特征在于，包括：

PCB板，所述PCB板包括信号探测部和信号传输部；

所述信号探测部包括在相应布线层布线的电流线圈和电压探针，所述电流线圈形成电磁感应区域和用于容纳所述电压探针的电场感应区域，所述电磁感应区域的大小根据预设电流灵敏度确定，所述电压探针的探测面积根据预设电压灵敏度确定；

各所述布线层分别为依次叠堆的第一接地层、电流信号层、第二接地层、电压信号层和第三接地层，所述第一接地层在所述电场感应区域外和部分所述电磁感应区域内布线，所述电磁感应区域被所述第一接地层部分屏蔽，所述第二接地层在所述电场感应区域外和部分所述电磁感应区域内布线，所述电磁感应区域被所述第二接地层部分屏蔽，其中，屏蔽的电磁感应区域的大小根据所述预设电流灵敏度确定；且，

所述电磁感应区域包括两个，两个所述电磁感应区域关于所述电场感应区域的中心线对称；

所述信号传输部包括在相应布线层布线的电流传输线和电压传输线，所述电流传输线的第一端连接所述电流线圈，第二端连接电流信号输出接口，所述电压传输线的第一端连接所述电压探针，第二端连接电压信号输出接口。

2.根据权利要求1所述的复合探头，其特征在于，

所述第一接地层上设有连通所述电场感应区域和所述电磁感应区域的第一开口；

所述第二接地层上设有连通所述电场感应区域和所述电磁感应区域的第二开口；

所述第一开口和所述第二开口沿所述PCB板上的屏蔽接地通孔的轴线对其排列，且所述电磁感应区域的剩余部分均根据所述预设电流灵敏度确定。

3.根据权利要求2所述的复合探头，其特征在于，所述第一开口和所述第二开口均包括两个。

4.根据权利要求2所述的复合探头，其特征在于，所述信号探测部还设有盲孔，所述电流线圈布线在所述电流信号层，包括非闭合式布线的磁场感应线，所述磁场感应线的第一端连接所述电流传输线的第一端，第二端通过所述盲孔的导电孔壁连接所述第一接地层和所述第二接地层。

5.根据权利要求1所述的复合探头，其特征在于，所述电压探针布线在所述电压信号层，包括探测线和探测头，所述探测线的第一端连接所述电压传输线的第一端，第二端连接所述探测头，所述探测头在垂直于所述PCB板上的屏蔽接地通孔的轴线的截面的大小根据所述预设电压灵敏度确定。

6.根据权利要求5所述的复合探头，其特征在于，所述探测头在垂直于所述PCB板上的屏蔽接地通孔的轴线的截面为半圆形，所述探测线的第二端连接所述半圆形的圆弧段。

7.根据权利要求1所述的复合探头，其特征在于，所述电流传输线布线在所述电流信号层，所述电压传输线布线在所述电压信号层，所述第一接地层在所述电流传输线的外周布线，所述第二接地层在所述电流传输线和所述电压传输线的外周布线，所述第三接地层在所述电压传输线的外周布线。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的复合探头，其特征在于，所述电流信号输出接口包括第一通孔和第一接地金属层，所述第一通孔的导电孔壁连接所述电流传输线的第二端，所述第一接地金属层布线在所述第一接地层，且所述第二接地层和所述第三接地层在所述第一通孔外布线。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的复合探头，其特征在于，所述电压信号输出接口包括第二通孔和第二接地金属层，所述第二通孔的导电孔壁连接所述电压传输线的第二端，所述第二接地金属层布线在所述第三接地层，且所述第一接地层和所述第二接地层在所述第二通孔外布线。