[发明专利]一种具有组合式微通道散热装置的激光加工设备

权利要求书

1.一种具有组合式微通道散热装置的激光加工设备，包括机架和设于所述机架上的激光头，其特征在于，所述激光头设有组合式微通道散热装置，所述组合式微通道散热装置包括由下至上依次叠放设置且外形及尺寸一致的下底板、通道板、中间板、散热板和上盖板，所述激光头中的半导体激光器设于所述上盖板上，在所述激光头工作时，所述上盖板上设有所述半导体激光器的区域会形成高温区域，

其中，所述下底板上设有进液孔，所述通道板上设有与所述进液孔对应的进液腔，所述进液腔远离所述进液孔的一端均匀设有微通道，所述中间板上设有与所述微通道对应的通液槽，所述散热板上设有与所述通液槽连通的液汽相变腔，从所述通液槽进入所述液汽相变腔的液体能够被所述上盖板上的高温区域汽化，形成汽雾，

沿着所述散热板的长度方向，所述散热板上远离所述液汽相变腔的一端设有出汽孔，所述散热板的两侧设有用于连通所述液汽相变腔和所述出汽孔的导汽槽，所述下底板、所述通道板和所述中间板上与所述出气孔相对应的位置分别设有第一出汽孔、第二出汽孔和第三出汽孔。

2.如权利要求1所述的具有组合式微通道散热装置的激光加工设备，其特征在于，所述散热板上靠近所述液汽相变腔的区域设有与所述液汽相变腔相隔离的热交换腔，所述上盖板上与所述热交换腔相对应的位置设有通气孔，所述液汽相变腔内的热量能够通过所述散热板的热传导传递到所述热交换腔内，通过所述热交换腔和所述通气孔将所述液汽相变腔内的部分热量散发出去。

3.如权利要求1所述的具有组合式微通道散热装置的激光加工设备，其特征在于，所述出汽孔中设有用于将两侧的所述导汽槽隔开的隔板。

4.如权利要求1所述的具有组合式微通道散热装置的激光加工设备，其特征在于，所述下底板、所述通道板、所述中间板、所述散热板和所述上盖板的中部对应设有第一安装孔、第二安装孔、第三安装孔、第四安装孔和第五安装孔。

5.如权利要求1所述的具有组合式微通道散热装置的激光加工设备，其特征在于，所述机架两侧的支撑梁上设有滑槽，所述支撑梁上设有能够沿着所述滑槽移动的滑块，沿着所述机架的长度方向，两个所述滑块通过安装横梁连接，所述安装横梁上设有安装滑块，所述激光头设于所述安装滑块上，所述安装滑块能够带着所述激光头沿着所述机架的长度方向在安装横梁上滑动。