[发明专利]用于检查的具有电可控制孔径的传感器及计量系统

权利要求书

1.一种检查样本的方法，所述方法包括：

将辐射引导及聚焦到所述样本上；

将从所述样本接收的辐射引导到线传感器，其中所述线传感器包含安置于衬底上的多个像素，每一所述像素包含附接到所述衬底的上表面且安置于每一所述像素的相关联光敏区域上方的电阻式控制栅极，且其中引导接收到的辐射包含引起经引导的光进入每一所述像素的所述相关联光敏区域；

使用预定孔径控制信号驱动每一所述像素的所述电阻式控制栅极，使得所述电阻式控制栅极在所述相关联光敏区域中产生电场，所述电场将由第一光部分在每一所述像素的第一光敏部分中产生的第一光电子驱动到经定位成邻近每一所述电阻式控制栅极的第一端部分的第一电荷积累区域中，且将由第二光部分在每一所述像素的第二光敏部分中产生的第二光电子驱动到经定位成邻近每一所述电阻式控制栅极的第二端部分的第二电荷积累区域中，及

读出及测量仅收集于所述第一电荷积累区域和所述第二电荷积累区域中的一者中的电荷，且忽视收集于所述第一电荷积累区域和所述第二电荷积累区域中的另一者中的电荷。

2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：在预定周期期间测量积累于所述第一电荷积累区域中的所述第一光电子。

3.根据权利要求2所述的方法，其中引导所述辐射进一步包括：产生共焦图像，所述共焦图像包含从所述样本引导到每一所述像素的所述相关联光敏区域的第一光敏部分中的第一共焦图像部分；及从所述样本引导到每一所述像素的所述相关联光敏区域的第二光敏部分中的第二共焦图像部分。

4.根据权利要求2所述的方法，其中引导所述辐射进一步包括：将安置于第一角度范围内的第一辐射部分从所述样本引导到每一所述像素的所述相关联光敏区域的第一光敏部分中；及将安置于第二角度范围内的第二辐射部分从所述样本引导到每一所述像素的所述相关联光敏区域的第二光敏部分中。

5.根据权利要求1所述的方法，其中驱动每一所述像素的所述电阻式控制栅极包括：在接触每一所述电阻式控制栅极的对置端部分的第一端电极及第二端电极上产生第一孔径控制信号及第二孔径控制信号；及在接触每一所述电阻式控制栅极的中心部分的至少一个中心电极上产生第三孔径控制信号。

6.根据权利要求5所述的方法，其中驱动所述电阻式控制栅极进一步包括：

在第一时间周期期间，产生所述第一孔径控制信号、所述第二孔径控制信号及所述第三孔径控制信号，使得所述第一孔径控制信号的电压电平及所述第二孔径控制信号的电压电平大于所述第三孔径控制信号的电压电平，及

在第二时间周期期间，产生所述第一孔径控制信号、所述第二孔径控制信号及所述第三孔径控制信号，使得所述第一孔径控制信号的所述电压电平大于所述第二孔径控制信号的所述电压电平及所述第三孔径控制信号的所述电压电平。

7.根据权利要求1所述的方法，其中驱动每一所述像素的所述电阻式控制栅极包括：在分别接触每一所述电阻式控制栅极的对应端部分的第一端电极及第二端电极上产生第一孔径控制信号及第二孔径控制信号；及分别在分别接触每一所述电阻式控制栅极的对应中心部分的第一中心电极、第二中心电极及第三中心电极上产生第三孔径控制信号、第四孔径控制信号及第五孔径控制信号，其中所述第一孔径控制信号的电压电平、所述第二孔径控制信号的电压电平及所述第四孔径控制信号的电压电平大于所述第三孔径控制信号的电压电平及所述第五孔径控制信号的电压电平，借此每一所述像素的所述电阻式控制栅极在所述相关联光敏区域中产生电场，所述电场将所述第一光电子驱动到所述第一电荷积累区域中，将所述第二光电子驱动到所述第二电荷积累区域中，且将由第三光部分在每一所述像素的第三光敏部分中产生的第三光电子驱动到定位于所述第一电荷积累区域与所述第二电荷积累区域之间的第三电荷积累区域中。