[发明专利]一种太阳能电池芯片结构及制备方法在审
申请号: | 201910251401.7 | 申请日: | 2019-03-29 |
公开(公告)号: | CN111755551A | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
发明(设计)人: | 罗轶;李琳琳;宋士佳 | 申请(专利权)人: | 东泰高科装备科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/054 | 分类号: | H01L31/054;H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王文君;陈征 |
地址: | 102209 北京市昌平*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能电池 芯片 结构 制备 方法 | ||
本发明涉及太阳能电池领域,具体涉及一种太阳能电池芯片结构及制备方法。其主要改进之处为,在所述背电极和所述电池层之间设有折射层,所述折射层包括折射层,在所述折射层远离光射入方向的一面设有凹陷,所述凹陷的内表面设有反射层I;在所述前电极与所述电池层的接触面上设有反射层II,光线可在所述反射层I与所述反射层II之间进行多次反射。本发明所述的太阳能电池可以与前电极结构形成来回反射的区间,起到很好的陷光作用,能有效反射入射光线,增加光在电池层的传输路径,进而提高了太阳能电池的整体效率。本发明的制备工艺简单,且不影响电池层的晶体生长质量,便于应用与推广。
技术领域
本发明涉及太阳能电池领域,具体涉及一种太阳能电池芯片结构及制备方法。
背景技术
InxGa1-xN的禁带宽度为0.64-3.4eV,几乎覆盖整个太阳光波段,而受到人们的关注。近年对InxGa1-xN/GaN多量子阱(MQW)结构在太阳能电池领域的研究,显示In组分、势阱宽度、势垒宽度等对电池结构都有显著的影响,可通过调整工艺参数提高太阳能电池的整体效率。但是,就目前的材料生长技术而言,较高厚度、高In组分氮化物薄膜材料的生长还具有很大的挑战性。主要是因为在使用有机金属化学气相沉积(MOCVD)方法在制备高In组分合金材料时,容易出现铟聚集的“铟滴”析出,所以难以制备高In组分的氮化物薄膜。并且生长过厚的InGaN,薄膜外延层的晶体质量会急剧下降。
在现有技术条件下,为保证薄膜外延层的晶体质量,采用MQW结构时,InxGa1-xN吸收层的总厚度一般只有几十纳米左右,和几百纳米的目标厚度仍有较大差距,但是吸收层厚度较薄的话,太阳光不能得到充分的吸收,大大降低了氮化物太阳能电池光电转化效率。因此,为了提高氮化物太阳能电池的光电转化效率,常用做法是在芯片中制作布拉格反射层(DBR),使得透过吸收层的太阳光子被反射回来,再次被吸收,进而提高器件的光电转换效率。InxGa1-xN太阳能电池一般通过MOCVD直接外延生长高质量的AlN/GaN周期DBR反射层,AlN和GaN的折射率差Δn只有0.35,其所组成的AlN/GaN DBR的反射带宽较窄,并且AlN和GaN两者之间有2.5%的晶格失配,难以通过MOCVD直接外延生长高质量的AlN/GaN DBR。常规的AlN/GaN DBR不仅影响后续晶体生长质量,而且生长工艺复杂,本专利提出一种具有折射层的太阳能电池芯片结构及制备方法,制备工艺简单,利用折射层与前电极结构形成来回反射的区间,能有效增加光在吸收层的传输距离,变相提高吸收层厚度,提高入射光线吸收几率。
发明内容
为了解决上述问题,本发明提供了一种陷光效果好的太阳能电池芯片结构及制备方法,即一种具有折射层的太阳能电池芯片结构及制备方法)。
本发明第一目的在于提供一种太阳能电池芯片结构,依次包括层叠设置的前电极、电池层和背电极,其主要改进之处为,在所述背电极和所述电池层之间设有折射层,在所述折射层远离光射入方向的一面设有凹陷,所述凹陷的内表面设有反射层I;在所述前电极与所述电池层的接触面上设有反射层II,光线可在所述反射层I与所述反射层II之间进行反射。
本发明通过折射层、凹陷及其前电极上设置的反射层,使得射入其中的光在前电极与凹陷间进行多次反射,增加了光在电池层中的传输路径,进而提高了入射光线的吸收几率。
本发明中的凹陷可以为多个倒锥形或其他不规则体,也可以是V型槽,以增强反射效果为目的,可以有多种形状,数目可设置多个。所述反射层可以为银,也可以是其他具有较好反射效果的导电材料,在此不做进一步限定。
作为优选,所述前电极与所述凹陷在竖直方向上错位排布。通过上述设置,有利于光线在所述反射层I与反射层II之间进行多次反射,可进一步增加光线在电池中传播的路线的长度,有利于提高电池对光的吸收效率。
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