[发明专利]芯片封装结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201910251222.3 申请日: 2019-03-29
公开(公告)号: CN109994437B 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 周一安;席克瑞;王林志;秦锋;李小和 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/488;H01L23/482;H01L23/29;H01L23/367;H01L23/38;H01L25/16
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼
地址: 201201 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 芯片 封装 结构 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种芯片封装结构,其特征在于,包括:

堆叠设置的芯片封装层和温控层;

所述芯片封装层包括:芯片绝缘部、包裹于所述芯片绝缘部中的芯片;所述芯片绝缘部包括至少一个子绝缘层;

所述温控层包括:温控绝缘部、包裹于所述温控绝缘部中的温控单元;所述温控绝缘部包括至少一个子绝缘层;

在垂直于所述芯片绝缘部所在平面的方向上,所述芯片和所述温控单元至少部分交叠;

所述温控单元用于吸收外部热量,或者向外部释放热量;

温感材料层,所述温感材料层包裹于所述温控绝缘部中,且所述温感材料层位于所述芯片与所述温控单元之间;

所述温感材料层上电连接有两个感测端口,所述感测端口用于感测所述温感材料层的环境温度;

温控芯片,所述温控芯片包裹于所述芯片绝缘部中,所述温控芯片和所述温控单元电连接,用于感测环境温度并且控制所述温控单元吸收外部热量、或者向外部释放热量;

所述感测端口通过电连接结构和所述温控芯片电连接。

2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述温控单元包括第一信号端和第二信号端;

当电流从所述第一信号端流向所述第二信号端时,所述温控单元从环境中吸收热量;

当电流从所述第二信号端流向所述第一信号端时,所述温控单元向环境中释放热量。

3.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,

所述温控单元包括M个子单元,所述子单元包括:第一金属电极部、第二金属电极部、第一N型半导体部、第一P型半导体部、金属桥部;

所述第一N型半导体部的第一端和所述第一金属电极部电连接、第二端和所述金属桥部电连接;

所述第一P型半导体部的第一端和所述第二金属电极部电连接、第二端和所述金属桥部电连接;其中,M为正整数。

4.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,

M=1,所述第一金属电极部和所述第一信号端电连接,所述第二金属电极部和所述第二信号端电连接。

5.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,

M≥2,第1个所述子单元的所述第一金属电极部和所述第一信号端电连接,第M个所述子单元的所述第二金属电极部和所述第二信号端电连接;

相邻的两个所述子单元,一者的所述第一金属电极部和另一者的所述第二金属电极部电连接。

6.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:

第一布线层,位于所述芯片背离所述温控层的一侧;所述第一布线层包括第一连接线和第二连接线;

第一连接部和第二连接部;

所述第一连接部的第一端和所述第一信号端电连接、第二端通过所述第一连接线和所述温控芯片电连接;

所述第二连接部的第一端和所述第二信号端电连接、第二端通过所述第二连接线和所述温控芯片电连接。

7.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:

多个金属球,所述金属球和所述温控单元位于所述芯片相对的两侧;

所述芯片包括导电柱,所述导电柱和所述金属球电连接。

8.根据权利要求7所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:

第三连接部和第四连接部;

所述金属球包括第一金属球和第二金属球;

所述第三连接部的第一端和所述第一信号端电连接、第二端和所述第一金属球电连接;

所述第四连接部的第一端和所述第二信号端电连接、第二端和所述第二金属球电连接。

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