[发明专利]芯片封装结构及其制作方法有效
| 申请号: | 201910251222.3 | 申请日: | 2019-03-29 |
| 公开(公告)号: | CN109994437B | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
| 发明(设计)人: | 周一安;席克瑞;王林志;秦锋;李小和 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H01L21/48;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/488;H01L23/482;H01L23/29;H01L23/367;H01L23/38;H01L25/16 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 芯片 封装 结构 及其 制作方法 | ||
1.一种芯片封装结构,其特征在于,包括:
堆叠设置的芯片封装层和温控层;
所述芯片封装层包括:芯片绝缘部、包裹于所述芯片绝缘部中的芯片;所述芯片绝缘部包括至少一个子绝缘层;
所述温控层包括:温控绝缘部、包裹于所述温控绝缘部中的温控单元;所述温控绝缘部包括至少一个子绝缘层;
在垂直于所述芯片绝缘部所在平面的方向上,所述芯片和所述温控单元至少部分交叠;
所述温控单元用于吸收外部热量,或者向外部释放热量;
温感材料层,所述温感材料层包裹于所述温控绝缘部中,且所述温感材料层位于所述芯片与所述温控单元之间;
所述温感材料层上电连接有两个感测端口,所述感测端口用于感测所述温感材料层的环境温度;
温控芯片,所述温控芯片包裹于所述芯片绝缘部中,所述温控芯片和所述温控单元电连接,用于感测环境温度并且控制所述温控单元吸收外部热量、或者向外部释放热量;
所述感测端口通过电连接结构和所述温控芯片电连接。
2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述温控单元包括第一信号端和第二信号端;
当电流从所述第一信号端流向所述第二信号端时,所述温控单元从环境中吸收热量;
当电流从所述第二信号端流向所述第一信号端时,所述温控单元向环境中释放热量。
3.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,
所述温控单元包括M个子单元,所述子单元包括:第一金属电极部、第二金属电极部、第一N型半导体部、第一P型半导体部、金属桥部;
所述第一N型半导体部的第一端和所述第一金属电极部电连接、第二端和所述金属桥部电连接;
所述第一P型半导体部的第一端和所述第二金属电极部电连接、第二端和所述金属桥部电连接;其中,M为正整数。
4.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,
M=1,所述第一金属电极部和所述第一信号端电连接,所述第二金属电极部和所述第二信号端电连接。
5.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,
M≥2,第1个所述子单元的所述第一金属电极部和所述第一信号端电连接,第M个所述子单元的所述第二金属电极部和所述第二信号端电连接;
相邻的两个所述子单元,一者的所述第一金属电极部和另一者的所述第二金属电极部电连接。
6.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:
第一布线层,位于所述芯片背离所述温控层的一侧;所述第一布线层包括第一连接线和第二连接线;
第一连接部和第二连接部;
所述第一连接部的第一端和所述第一信号端电连接、第二端通过所述第一连接线和所述温控芯片电连接;
所述第二连接部的第一端和所述第二信号端电连接、第二端通过所述第二连接线和所述温控芯片电连接。
7.根据权利要求2所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:
多个金属球,所述金属球和所述温控单元位于所述芯片相对的两侧;
所述芯片包括导电柱,所述导电柱和所述金属球电连接。
8.根据权利要求7所述的芯片封装结构,其特征在于,还包括:
第三连接部和第四连接部;
所述金属球包括第一金属球和第二金属球;
所述第三连接部的第一端和所述第一信号端电连接、第二端和所述第一金属球电连接;
所述第四连接部的第一端和所述第二信号端电连接、第二端和所述第二金属球电连接。
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