[发明专利]一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器在审
| 申请号： | 201910251154.0 | 申请日： | 2019-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN110047819A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;屈晓庆;余宁梅 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 宁文涛 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 重布线层 二氧化硅基板 硅通孔 字形磁芯 电感 蚀刻 磁芯电感器 上下表面 可调的 对称设置 布线层 上表面 下表面 内圈 排布 嵌有 | ||
1.一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器，其特征在于，包括二氧化硅基板c(3)，所述二氧化硅基板c(3)的上下表面均嵌有“回”字形磁芯(4)，所述二氧化硅基板c(3)上下表面分别设有二氧化硅基板a(1)和二氧化硅基板b(2)，所述二氧化硅基板c(3)上表面的“回”字形磁芯(4)位于二氧化硅基板a(1)与二氧化硅基板c(3)之间，所述二氧化硅基板c(3)下表面的“回”字形磁芯(4)位于二氧化硅基板b(2)与二氧化硅基板c(3)之间，所述二氧化硅基板c(3)上设有若干硅通孔，若干所述硅通孔设置“回”字形磁芯(4)的内部和外部，所述二氧化硅基板a(1)下表面蚀刻有重布线层a和重布线层b，所述二氧化硅基板b(2)上表面蚀刻有重布线层c和重布线层d，所述重布线层a与布线层c之间、重布线层b与重布线层d之间通过若干硅通孔连接。
2.如权利要求1所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器，其特征在于，所述重布线层a、重布线层b、重布线层c和重布线层d均为折线形，若干所述硅通孔的上端分别与重布线层a和重布线层c的结点连接，若干所述硅通孔的下端分别与重布线层c和重布线层d的结点连接。
3.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器，其特征在于，所述重布线层a和重布线层b镜像对称，所述重布线层c和重布线层d的镜像对称，所述重布线层a和重布线层c相同，所述重布线层b和重布线层d相同。
4.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器，其特征在于，所述硅通孔内的填充金属为铜。
5.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器，其特征在于，所述“回”字形磁芯(4)为铁氧体磁芯。
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