[发明专利]一种太阳能电池的制备方法在审

专利信息
申请号: 201910244292.6 申请日: 2019-03-28
公开(公告)号: CN111834488A 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 宋广华;罗骞;傅松楠;陈伟文 申请(专利权)人: 福建钜能电力有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0216;H01L31/0224;H01L21/306
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地址: 351111 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能电池 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤:

提供入光面、背光面已沉积好导电膜层和种子层的硅片;

在硅片的入光面和背光面分别涂布上光刻胶;

对涂布光刻胶后的硅片进行烘烤固化;

对烘烤固化后的硅片进行化学药液浸泡,去除硅片背光面边缘及侧面的导电膜层和种子层,实现电池N、P面绝缘;

对绝缘处理后的硅片进行图形转移及金属电极沉积。

2.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述硅片入光面为N面时,所述背光面则为P面,所述入光面为P面时,所述背光面则为N面。

3.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述硅片的导电膜层为包括透明导电氧化物层TCO层,厚度为50~200nm,所述种子层为Ag、Cu、AL等中至少一种,厚度为50~150nm。

4.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述光刻胶的涂布采用丝网印刷、移印、打印、喷涂等方式中的一种形成,光刻胶涂布厚度10-30um。

5.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述光刻胶为抗电镀、耐酸性的感光正型或负型材料,硅片背光面的光刻胶距离硅片四周有0.5-1mm的间隙,入光面的光刻胶可全面积覆盖。

6.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述光刻胶进行烘烤处理的温度为70~120摄氏度,时间为5~30min。

7.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述化学药液为ITO蚀刻液、HNO3溶液或HCL溶液等中至少一种,浸泡蚀刻时间为1-5min。

8.根据权利要求1所述一种太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述图像转移采用曝光、显像的方式,所述沉积的金属栅线为Ag、Cu、AL、Ni、Sn其中一种或其合金。

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