[发明专利]尾气真空节能泵浦系统

说明书

本发明公开了一种具有尾气真空节能功能的泵浦系统，包含一前端泵浦与一末端泵浦，所述前端泵浦包含一前端进气端、一前端进气阀、一前端排气端与一前端泵浦转子；所述末端泵浦包含一末端进气端、一末端进气阀、一末端排气端与一末端泵浦转子；其中，所述末端泵浦转子借由所述末端进气阀可选择性地抽取所述前端排气端的气体，借此降低所述前端进气端与所述前端排气端的气压差，并降低所述前端泵浦能耗。此外，所述前端泵浦转子也可借由所述前端进气阀选择性地抽取所述末端排气端的气体，以降低所述末端进气端与所述末端排气端的气压差，以降低所述末端泵浦能耗。

技术领域

本发明涉及一种泵浦系统，特别是有关一种可节省泵浦运转时所耗能源的泵浦系统。

背景技术

一般来说，真空泵浦在运转时所耗能量与泵浦进气端与排气端的气压差相关。当泵浦的进气端(一般来说连通工艺腔体)与排气端(一般来说连通外界)的压力差越大，所述泵浦运转时所耗的能量越大。在使用真空泵浦的过程中，由于所述工艺腔体在过程的初始阶段仍处在常压或一特定气压值，所述真空泵浦在过程的初始阶段最为耗能。当过程稳定后，工艺腔体的气压已因真空泵浦抽取气体而降低，因此泵浦的进气端气压比过程的初始阶段低，也比泵浦的排气端气压低。此时，若所述泵浦的排气端与进气端的气压差越大，泵浦在过程稳定时的运转能量消耗则越大。因此，如何降低真空泵浦运转的能耗为此发明所欲解决的课题。

发明内容

因此，本发明提供一种可节省泵浦运转时所消耗能量的泵浦系统，以解决上述问题。

为了达成上述目的，本发明公开一种泵浦系统，包含一前端泵浦以及一末端泵浦，其中所述前端泵浦包含一前端进气端、一前端排气端、一前端腔体，所述前端腔体内形成一前端腔室，所述前端腔室连通所述前端进气端与所述前端排气端；及一前端泵浦转子，设置在所述前端腔室内。所述末端泵浦包含一末端进气端、一末端排气端、一末端腔体，所述末端腔体内形成一末端腔室，所述末端腔室连通所述末端进气端与所述末端排气端；及一末端泵浦转子，设置在所述末端腔室内。其中，所述末端泵浦转子选择性地用以将所述末端进气端的气体抽取至所述末端排气端或将所述前端排气端的气体抽取至所述末端排气端，所述前端泵浦转子选择性地用以将所述前端进气端的气体抽取至所述前端排气端或将所述末端排气端的气体抽取至所述前端排气端。

根据本发明其中之一实施方式，所述泵浦系统还包含一中置泵浦组，所述中置泵浦组包含至少一中置泵浦，所述至少一中置泵浦包含一中置进气端、一中置排气端、一中置腔体，所述中置腔体内形成一中置腔室，所述中置腔室连通所述中置进气端与所述中置排气端；及一中置泵浦转子，设置在所述中置腔室内，所述中置泵浦转子选择性地用以将所述中置进气端的气体抽取至所述中置排气端或所述前端排气端的气体抽取至所述中置排气端。

根据本发明其中之一实施方式，所述中置泵浦还包含一中置进气阀，设置在所述中置腔体上，所述中置进气阀选择性地将所述中置腔室连通所述中置进气端或所述前端排气端；一中置排气阀，设置在所述中置腔体上，所述中置排气阀选择性地将所述中置腔室连通所述末端进气阀或一外界。

根据本发明其中之一实施方式，所述前端泵浦还包含一前端进气阀，设置在所述前端腔体上，所述前端进气阀选择性地将所述前端腔室连通所述前端进气端或所述末端排气端；一前端排气阀，设置在所述前端腔体上，所述前端排气阀选择性地将所述前端排气端连通所述末端进气端或所述外界。

根据本发明其中之一实施方式，所述末端泵浦还包含一末端进气阀，设置在所述末端腔体上，所述末端进气阀选择性地将所述末端腔室连通所述末端进气端或所述前端排气端或所述中置排气端；一末端排气阀，设置在所述末端腔体上，所述末端排气阀选择性地将所述末端排气端连通所述前端进气阀或所述外界。