[发明专利]OLED显示面板及其制备方法在审
申请号: | 201910242542.2 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN109979977A | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 李朝 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃基板 柔性层 氮化硅层 浸润层 制备 薄膜封装层 薄膜晶体管 膜厚均匀性 产品良率 亲疏水性 亲水性 驱动层 疏水性 有效流 | ||
1.一种OLED显示面板,其特征在于,所述OLED显示面板包括:
双层聚酰亚胺柔性层,所述双层聚酰亚胺柔性层包括依次设置的第一聚酰亚胺柔性层、无机氮化硅层和第二聚酰亚胺柔性层,所述双层聚酰亚胺柔性层还包含第一浸润层以及第二浸润层;
薄膜晶体管驱动层,设置在所述双层聚酰亚胺柔性层上;
OLED发光层,设置在所述薄膜晶体管驱动层上;以及
薄膜封装层,设置在所述OLED发光层上。
2.根据权利要求1所述的OLED显示面板,其特征在于,所述第一浸润层设置于所述第一聚酰亚胺柔性层上。
3.根据权利要求2所述的OLED显示面板,其特征在于,所述第二浸润层设置于所述无机氮化硅层和所述第二聚酰亚胺柔性层之间。
4.根据权利要求3所述的OLED显示面板,其特征在于,所述第一浸润层、所述第一聚酰亚胺柔性层、所述无机氮化硅层、所述第二浸润层和所述第二聚酰亚胺柔性层由下自上依次设置。
5.根据权利要求3所述的OLED显示面板,其特征在于,所述无机氮化硅层的亲疏水性为亲水性,所述第一聚酰亚胺柔性层、所述第二聚酰亚胺柔性层、所述第一浸润层和所述第二浸润层的亲疏水性为疏水性。
6.根据权利要求5所述的OLED显示面板,其特征在于,所述第二浸润层接触所述无机氮化硅层以将所述无机氮化硅层由亲水性转变为疏水性。
7.根据权利要求3所述的OLED显示面板,其特征在于,所述第一浸润层和所述第二浸润层的材料包括:季铵盐、十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、聚乙烯醇、聚氯乙烯两亲性表面活性剂中的至少一种。
8.根据权利要求8所述的OLED显示面板,其特征在于,所述无机氮化硅层的厚度范围在0.5微米和2微米之间,所述第一聚酰亚胺柔性层和所述第二聚酰亚胺柔性层的厚度范围均在5微米和15微米之间。
9.一种OLED显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S2、加热固化聚酰亚胺溶液以形成第一聚酰亚胺柔性层;
步骤S3、在所述第一聚酰亚胺柔性层上形成无机氮化硅层;
步骤S5、将所述聚酰亚胺溶液涂布到所述无机氮化硅层上,加热固化所述聚酰亚胺溶液以在所述无机氮化硅层上形成第二聚酰亚胺柔性层;以及
步骤S6、在经所述步骤S5处理后的所述第二聚酰亚胺柔性层上依次形成薄膜晶体管驱动层、OLED发光层及薄膜封装封装层。
10.根据权利要求9所述的OLED显示面板的制备方法,其特征在于,还包括以下步骤:
步骤S1、将质量浓度为0.01%~1%的浸润溶液涂布或喷淋到玻璃基板上,在所述玻璃基板上形成第一浸润层;
步骤S4、将质量浓度为0.01%~1%的所述浸润溶液涂布或者喷淋到所述无机氮化硅层上,在所述无机氮化硅层上形成第二浸润层;以及
步骤S7、剥离所述玻璃基板;
其中所述步骤S2还包括将所述聚酰亚胺溶液涂布到经所述步骤S4处理后的所述玻璃基板上;
其中所述步骤S5还包括将所述聚酰亚胺溶液涂布到经所述步骤S4处理后的所述无机氮化硅层上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的