[发明专利]弹性绑定靶材的装置及方法

权利要求书

1.一种弹性绑定靶材的方法，其采用一种弹性绑定靶材的装置，该装置包括一龙门架以及一间隙片夹具，所述龙门架包括平行的第一支脚、第二支脚以及连接第一支脚、第二支脚的一水平杆，所述第一支脚、第二支脚设置有槽道，所述间隙片夹具包括夹具本体以及一调节部，所述调节部包括自上向下延伸的一把手、一调节杆、一抓取部，所述夹具本体与水平杆平行，且夹具本体的两端套设于槽道内，所述抓取部固定于夹具本体上，所述调节杆上下贯穿水平杆，所述把手的上下移动能够带动夹具本体沿着槽道上下移动，其特征在于：该方法包括以下步骤：

S1、用异丙醇清洗靶材、背板的绑定面，再用无水乙醇清洗靶材、背板的绑定面；

S2、将靶材和背板置于龙门架下方，将间隙片夹持于夹具本体内，通过把手调节夹具本体的上下位置；

S3、将一种有机硅胶体均匀涂布在间隙片的两面，将间隙片涂布有机硅胶体的两面分别与相邻的两个靶材粘附，且间隙片与两个靶材的底面平齐；

S4、将上述相邻的两个靶材叠放在背板的焊接面上并定位，通过有机硅胶体将铜网绑定于靶材和背板之间；

S5、重复S3、S4，直至多片靶材相对固定；

S6、在每一靶材上放置一定重量的压块，压块在靶材上形成一定的压力，然后将靶材和背板以1～5℃/min的升温速率升温至80～120℃并静置固化1～8h；

S7、通过把手调节夹具本体的上下位置撤除间隙片，清理有机硅胶体，降温至常温，得到绑定好的靶材。

2.根据权利要求1所述的弹性绑定靶材的方法，其特征在于：压块在靶材上形成的压力为100～200g/cm²。

3.根据权利要求1所述的弹性绑定靶材的方法，其特征在于：铜网的目数为60～100目，铜网厚度为0.15～0.25mm。

4.根据权利要求1所述的弹性绑定靶材的方法，其特征在于：间隙片的制备材质为铜。

5.根据权利要求1所述的弹性绑定靶材的方法，其特征在于：靶材为硫化镉靶材、ITO靶材、铜铟镓靶材或者AZO靶材。