[发明专利]一种多级渐变式自发调温的复合涂层及其制备方法

权利要求书

1.一种多级渐变式自发调温复合涂层，其特征在于依次由基底层、扩散阻挡层、主调光层和减反层组成；其中扩散阻挡层为金属Ta膜，主调光层为W含量呈梯度分布的三种VO₂-W亚层，减反层为锐钛矿相TiO₂；扩散阻挡层、主调光层和减反层的厚度分别为1.5～2.5nm，60～150nm，30-60nm；其中所述的主调光层中三个亚层VO₂-W中W的摩尔含量分别为1.9～2.1％，2.4～2.6％和2.9～3.1％，每个亚层厚度均为20-50nm。

2.根据权利1所述的多级渐变式自发调温复合涂层，其特征在于所述的基体层为石英玻璃。

3.一种制备如权利要求1所述的多级渐变式自发调温复合涂层的方法，其具体步骤为：

A.采用直流溅射法在基板上沉积金属Ta层；

B.采用双靶共溅射法沉积第一个VO₂-W亚层；

C.采用双靶共溅射法沉积第二个VO₂-W亚层；

D.采用双靶共溅射法沉积第三个VO₂-W亚层；

E.采用射频溅射法在第三亚层上沉积锐钛矿相TiO₂；

F.最后再进行退火处理，制得多级渐变式自发调温复合涂层。

4.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤A中金属Ta层的厚度为1.5～2.5nm；溅射功率均为150～250W。

5.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤B中第一个VO₂-W亚层的厚度为20-50nm，W含量为2.9～3.1％。

6.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤C中第二个VO₂-W亚层的厚度为20-50nm，W含量为2.4～2.6％。

7.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤D中第三个VO₂-W亚层的厚度为20-50nm，W含量为1.9～2.1％。

8.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤B、C、D中溅射功率均为250～350W，衬底温度均为300～500℃。

9.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤E中锐钛矿相TiO₂的厚度为30-60nm；通入反应气体O₂气，O₂分压为0.01-0.30Pa，其中溅射功率150～250W，衬底温度为250～350℃。

10.根据权利3所述的方法，其特征在于步骤F 中的退火温度为200～400℃，退火时间为1～2h。