[发明专利]硅微陀螺仪正交误差校正方法

权利要求书

1.一种硅微陀螺仪正交误差校正方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

在硅微陀螺仪的重量块中，增加正交校正电极；

对所述正交校正电极施加正交控制电压，产生与耦合刚度相等的静电刚度，达到正交误差校正的目的；

建立闭环校正系统，获得耦合刚度；

将所述耦合刚度和驱动模态的振动位移相乘，得到正交力；

将所述正交力经过检测模态得到位移信号；

通过转换因子将所述位移信号转化为电压量；

将所述电压量加入正交调解，运用低通滤波，得到正交误差量；

将所述正交误差量经过PI控制器换算得到正交控制电压；

将所述正交控制电压作用于正交校正电极，产生和消除耦合刚度相等的静电刚度；

所述正交力通过如下公式获得：

式中F_q为正交力，k_yx为耦合刚度，A_x为驱动模态振动幅值，ω为驱动频率，t为时间，j为复数，其j²＝-1，e为超越数；

所述位移信号获得过程如下：

对公式(3)进行拉式变化得如下所示公式：

式中F_q(s)为正交力的复变函数，s为复变数；

在等式(4)的两边同时乘以G_s(s)，获得位移信号：

式中，s_q(s)为位移信号，G_s(s)为系统检测模态的传递函数；

在等式(5)的两边同时乘以k_in1，获得电压量；

式中，V_q(s)为电压量，k_in1为转换因子一；

所述正交误差量获得方法包括：

通过如下公式获得解调输出值：

式中d_m(s)为解调输出值，按照如下公式得到正交误差量：

/

式中r_q(s)为正交误差量，L_f(s)为二阶低通滤波器的传递函数。

2.根据权利要求1所述的一种硅微陀螺仪正交误差校正方法，其特征在于，所述正交控制电压获得方法包括：

计算检测模态的传递函数：

式中，ω_y为检测模态的固有频率，Q_y为硅微陀螺仪检测模态的品质因子，m_y为检测方向的有效质量；

将公式(9)代入公式(8)得到公式(10)：

在公式(10)两边乘以PI控制器的传递函数，得到正交控制电压：

式中u_q(t)为正交控制电压，H_q(s)为PI控制器的传递函数。