[发明专利]光学检测装置及光学检测方法在审
| 申请号： | 201910234480.0 | 申请日： | 2019-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN109901314A | 公开（公告）日： | 2019-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张凌宇 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人： | 林才桂;鞠骁 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光源 光学检测 光学检测装置 图像获取模块 控制模块 基板 标准参数 表面图像 参数满足 亮度特性 检测 预设 载台 | ||
1.一种光学检测装置，其特征在于，包括载台(10)、设于载台(10)上方的图像获取模块(20)、设于载台(10)上方的光源(30)以及与光源(30)电性连接的控制模块(40)；所述光源(30)包括多个子光源(31)，每一子光源(31)分别连接控制模块(40)，至少有两个子光源(31)发出的光的颜色不同；
所述控制模块(40)用于控制多个子光源(31)发出的光的强度。
2.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，任意两个子光源(31)发出的光的颜色不同。
3.如权利要求2所述的光学检测装置，其特征在于，所述光源(30)包括三个子光源(31)，该三个子光源(31)分别为红光子光源(311)、绿光子光源(312)及蓝光子光源(313)。
4.如权利要求1所述的光学检测装置，其特征在于，所述图像获取模块(20)为CCD相机。
5.一种光学检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤S1、提供待检测基板(90)及光学检测装置；
所述光学检测装置包括载台(10)、设于载台(10)上方的图像获取模块(20)、设于载台(10)上方的光源(30)以及与光源(30)电性连接的控制模块(40)；所述光源(30)包括多个子光源(31)，每一子光源(31)分别连接控制模块(40)，至少有两个子光源(31)发出的光的颜色不同；
步骤S2、将待检测基板(90)设于载台(10)上；
步骤S3、所述光源(30)的多个子光源(31)向待检测基板(90)的表面发出光线，图像获取模块(20)获取待检测基板(90)的表面图像；
步骤S4、所述控制模块(40)对多个子光源(31)发出的光的强度进行控制，使得图像获取模块(20)获取的待检测基板(90)的表面图像的亮度特性参数满足预设的标准参数。
6.如权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，任意两个子光源(31)发出的光的颜色不同。
7.如权利要求6所述的光学检测方法，其特征在于，所述光源(30)包括三个子光源(31)，该三个子光源(31)分别为红光子光源(311)、绿光子光源(312)及蓝光子光源(313)。
8.如权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，所述图像获取模块(20)为CCD相机。
9.如权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，所述待检测基板(90)为COA型阵列基板。
10.如权利要求5所述的光学检测方法，其特征在于，所述待检测基板(90)的表面图像的亮度特性参数为待检测基板(90)的表面图像的亮度均匀性参数。
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