[发明专利]一种仿蝎子栉齿的气敏传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，包括：圆底板、圆顶板、连接在所述圆底板和所述圆顶板之间的若干个立板，所述圆顶板的中心设置有第一通孔，所述若干个立板自所述第一通孔的边缘至所述圆顶板的边缘沿所述圆顶板径向排列；相邻两个所述立板之间设置有仿生栉齿状气敏元件，所述仿生栉齿状气敏元件自下至上向所述圆顶板的中心倾斜；

所述仿生栉齿状气敏元件呈阶梯状，并包括：两个梯撑，连接在两个所述梯撑之间的若干个梯梁，所述梯梁的表面设置有导电层，所述导电层表面设置有若干个凹坑，所述凹坑的底部设置有碳颗粒凸起，所述碳颗粒凸起上设置有氧化锌薄膜。

2.根据权利要求1所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，所述碳颗粒凸起凸出于所述导电层的表面，相邻两个所述梯梁之间具有间隙。

3.根据权利要求2所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，所述梯梁的上表面为弧面，所述梯梁的上表面自内至外向下倾斜。

4.根据权利要求2所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，所述导电层采用碳纳米颗粒、金纳米颗粒、铂纳米颗粒、银纳米颗粒、铜纳米颗粒中的一种或多种制成。

5.根据权利要求2所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，所述凹坑呈半球形，且所述凹坑的半径为50～2000μm，相邻两个所述凹坑的间距为30～5000μm。

6.根据权利要求1所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，所述圆底板的中心设置有第二通孔。

7.根据权利要求1所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，其还包括：设置在所述圆顶板上的报警装置，所述报警装置用于根据导电层的电阻发出警报。

8.根据权利要求1所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器，其特征在于，其还包括：设置在所述圆顶板上的蓝牙装置，所述蓝牙装置用于开启或关闭所述仿蝎子栉齿的气敏传感器。

9.一种如权利要求1-8任意一项所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

制备仿生栉齿状气敏元件；

制备圆底板、圆顶板以及立板，并将圆底板、圆顶板以及立板连接；

将仿生栉齿状气敏元件安装在相邻两个立板之间。

10.根据权利要求9所述的仿蝎子栉齿的气敏传感器的制备方法，其特征在于，所述制备仿生栉齿状气敏元件步骤具体包括：

在梯梁的表面喷涂导电颗粒形成导电层；

在导电层上打孔形成凹坑；

将带孔模板贴紧导电层后涂刷碳墨并形成碳颗粒凸起，并分离带孔模板；

在碳颗粒凸起上生长氧化锌薄膜得到仿生栉齿状气敏元件。