[发明专利]一种Si2有效

专利信息
申请号: 201910227594.2 申请日: 2019-03-25
公开(公告)号: CN109950338B 公开(公告)日: 2020-09-15
发明(设计)人: 吴克跃 申请(专利权)人: 皖西学院
主分类号: H01L31/0336 分类号: H01L31/0336;H01L31/0352;H01L31/18;H01L35/14;H01L35/34;H01L45/00;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 237000 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 si base sub
【权利要求书】:

1.一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结,其特征在于,Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结由两部分组成:顶端是Si2Te3纳米线,呈圆锥状,长度为10um;主干是Si2Te3/Si复合纳米线结构,直径为300nm,长度为50um;顶端为Si2Te3,主干的核为Si纳米线,外层为Si2Te3,形成Si2Te3/Si核壳结构。

2.根据权利要求1所述的一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结的制备方法,其特征在于,制备方法包括以下步骤:

(1)首先将碲粉和硅粉置入陶瓷坩埚中;

(2)将步骤(1)的陶瓷坩埚放入石英管炉中;

(3)将含有金颗粒的二氧化硅/硅衬底放置在石英管炉内下游地方;

(4)将石英管炉抽真空至0.1mTorr,并用氮气冲洗,直至将石英管炉内的空气排除干净,再调节石英管炉中的真空度和载气流量;

(5)将石英管炉在20℃min-1下加热至850℃后停止加热,并保持3-5分钟,然后将衬底迅速冷却至室温。

3.根据权利要求2所述的一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结的制备方法,其特征在于,所述碲粉为300目,纯度为99.997%,质量为100毫克;所述硅粉为325目,纯度为99%,质量为100毫克。

4.根据权利要求2所述的一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结的制备方法,其特征在于,步骤(2)中,将所述陶瓷坩埚放入所述石英管炉的中间位置。

5.根据权利要求2所述的一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结的制备方法,其特征在于,步骤(3)中,将含有金颗粒的二氧化硅/硅衬底放置在距离石英管炉中间位置下游10cm处。

6.根据权利要求2所述的一种Si2Te3/Si2Te3@Si纳米线异质结的制备方法,其特征在于,步骤(4)中,石英管炉中真空度为9.8Torr,载气流量为15sccm。

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