[发明专利]一种陶瓷压力传感器的制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷压力传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）选用氧化铝陶瓷为基座，清洗干净后烘干，在陶瓷基座弹性膜片处印刷银钯导体浆料，室温下静置5-10min，然后进行干燥，干燥完成后置于高温炉中进行一次烧结，烧结完成后冷却至室温；

2）在氧化铝陶瓷为基座的指定位置处通过丝网印刷将厚膜浆料承印在氧化铝陶瓷为基板表面；

所述步骤2）中厚膜浆料包括按重量份计的下述组分：

氧化钼40-50份、玻璃粉5-10份、改性酚醛树脂粘结剂20-30份、有机载体10-20份；

所述改性酚醛树脂粘结剂的制备方法包括如下步骤：

将苯酚和邻羟基苯酚预热熔融后加入反应釜中，邻羟基苯酚与苯酚的摩尔比为1:5-10，向反应釜中加入催化剂氢氧化钠，氢氧化钠的添加量为苯酚的2-5wt%，升温至80-85℃，加入甲醛，苯酚与甲醛按摩尔比为1:2-5，反应2-4h；然后向反应釜中加入羧甲基壳聚糖和催化剂二环己基碳二亚胺，羧甲基壳聚糖与邻羟基苯酚的摩尔比为1:1-3，二环己基碳二亚胺添加量为羧甲基壳聚糖的2-5wt%，反应1-2h；再向反应釜中加入二氧化钛，二氧化钛与羧甲基壳聚糖的质量比为1:8-10，搅拌反应30-50min，冷却后得到改性酚醛树脂粘结剂；

3）将承印有厚膜浆料的氧化铝陶瓷为基板置于红外光灯下进行干燥，然后置于高温炉内进行二次烧结，冷却，即得。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤1）中干燥时间为10-15min，干燥温度为120-150℃。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤1）中一次烧结温度为750-800℃，烧结时间为1-3h。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤3）中二次烧结温度为800-850℃，烧结时间为2-5h。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷压力传感器的制备方法，其特征在于，所述二氧化钛经过预处理，预处理方法包括以下步骤：

向质量浓度为30-50%的乙醇水溶液中滴加氨水至pH为9-9.5，向上述溶液中加入二氧化钛粉末，二氧化钛粉末与乙醇水溶液的质量比1:5-10，升温至75-85℃，搅拌均匀，再加入氨基三氧乙基硅烷，氨基三氧乙基硅烷与二氧化钛粉末的质量比为1:5-10，保温反应1-3h，冷却后依次经过陈化、抽滤、洗涤、干燥，即得。