[发明专利]电镀液净化装置及电镀液净化方法

权利要求书

1.一种电镀液净化装置，其特征在于，包括：容置槽、循环泵和循环管道；

所述容置槽具有出液口和进液口，所述容置槽的所述出液口与所述循环管道的一端连通，所述容置槽的所述进液口与所述循环管道的另一端连通，所述循环泵设置于所述循环管道，所述循环管道内设置有至少一超滤膜过滤层。

2.根据权利要求1所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述循环管道内设置有三个超滤膜过滤层。

3.根据权利要求1所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述循环管道包括第一管道、第二管道和第三管道，所述容置槽的所述出液口与所述第一管道的一端连通，所述第一管道的另一端与所述第二管道的一端连通，所述第二管道的另一端与所述第三管道的一端连通，所述第三管道的另一端与所述容置槽的所述进液口连通，所述第一管道、所述第二管道和所述第三管道中的至少一个设置有超滤膜过滤层。

4.根据权利要求3所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述第一管道内设置有第一超滤膜过滤层，所述第二管道设置内有第二超滤膜过滤层，所述第三管道设置内有第三超滤膜过滤层。

5.根据权利要求3所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述循环泵设置于所述第三管道。

6.根据权利要求3所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述第二管道包括第一子管和第二子管，所述第一子管的一端与所述第一管道连通，所述第一子管的另一端与所述第二子管的一端可拆卸连接，所述第二子管的另一端与所述第三管道连通。

7.根据权利要求6所述的电镀液净化装置，其特征在于，所述第一子管与所述第二子管的连接处设置所述第二超滤膜过滤层。

8.根据权利要求1至7任一项中所述的电镀液净化装置，其特征在于，超滤膜过滤层具有多个滤孔，所述滤孔的孔径为3nm至7nm。

9.一种电镀液净化方法，采用权利要求1-8任一项中所述的电镀液净化装置净化，其特征在于，包括：

通过循环泵将容置槽内的电镀液抽入循环管道内，以使得电镀液流经超滤膜过滤层；

通过所述循环泵将经过超滤膜过滤层过滤的电镀液送入至容置槽内，完成电镀液的过滤。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，超滤膜过滤层具有多个滤孔，所述滤孔的孔径为3nm至7nm。