[发明专利]一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置

权利要求书

1.一种具有振动隔离嵌套结构的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

微环境控制模块，所述微环境控制模块包括上层气浴单元和下层气浴单元，其中，所述上层气浴单元位于所述检测装置的上层，用于为所述检测装置的上部空间送气，所述下层气浴单元位于所述上层气浴单元下方，用于为所述检测装置的下部空间送气；

带有隔振器的光学检测台架，所述带有隔振器的光学检测台架设置在所述上层气浴单元和所述下层气浴单元之间；

位移台模块，所述位移台模块位于所述微环境控制模块下方，与所述微环境控制模块和所述带有隔振器的光学检测台架相互独立；

其中，所述带有隔振器的光学检测台架包括：

基板；

隔振器单元，所述隔振器单元包括四个隔振器，分别位于所述基板下表面的四角处，隔离地面传到光学检测台架上的振动；

光学部件，所述光学部件设置在所述基板的中心位置。

2.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述带有隔振器的光学检测台架还包括：

法兰，所述法兰设置在所述基板与所述光学部件之间，将所述光学部件安装在所述基板上。

3.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述微环境控制模块还包括：

分流单元，所述分流单元位于所述上层气浴单元之上；

下层托架，所述下层托架通过钢管与所述分流单元连接并导通气流，连通所述分流单元与所述下层气浴单元，所述下层托架位于所述下层气浴单元之下，对所述下层气浴单元进行承托。

4.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述下层气浴单元的中心位置具有一通孔，且所述光学部件能够置于所述通孔中。

5.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述微环境控制模块还包括：

微环境控制模块框架，所述微环境控制模块框架的一端与所述上层气浴单元两侧连接，对所述微环境控制模块进行支撑，架设于所述光学检测台架和所述位移台模块之上。

6.如权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述位移台模块设置在四个所述隔振器之间。