[发明专利]一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅制备方法在审

专利信息
申请号: 201910222768.6 申请日: 2019-03-22
公开(公告)号: CN111719186A 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 何其金;张靖;何飞 申请(专利权)人: 江苏德润光电科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06;H01L31/0236;H01L31/18
代理公司: 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 代理人: 艾秀丽
地址: 225600 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 复合 结构 多晶 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅制备方法,其特征在于:该微纳复合绒面结构的多晶黑硅包括以下原料制备得到:

硅片:

氢氧化钾;

硝酸:

清水;

硝酸银:

氢氟酸:

金属离子银:

碱性溶液。

2.根据权利要求1所述的一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅,其特征在于:所述氢氧化钾与硝酸需倒入可密封的玻璃容器中,然后通过玻璃搅拌杆进行缓慢匀速的搅拌。

3.根据权利要求1所述的一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅,其特征在于:所述氢氟酸的浓度为5-8mol/L,所述硝酸银的浓度为0.1-0.5mol/L。

4.根据权利要求1所述的一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅,其特征在于:所述碱性溶液设置为氢氧化钠强碱性溶液。

5.根据权利要求1所述的一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅,其特征在于:所述清水需为烧开后放置到常温的开水。

6.根据权利要求1所述的一种微纳复合绒面结构的多晶黑硅,其特征在于:

该微纳复合绒面结构的多晶黑硅包括如下步骤的方法制备得到:

S1:将硅片放入由氢氧化钾与硝酸组成的混合腐蚀溶液中50-250s后将其取出并通过清水进行清洗,然后得到具有微米绒面结构的多晶硅片;

S2:将S1步骤中得到的具有微米绒面结构的多晶硅片放入到硝酸银与氢氟酸组成的溶液中,并添加金属离子银,静置2-4min,获得具有微纳复合绒面结构的多晶硅片;

S3:将S2步骤中的多晶硅片在放入到碱性溶液,与多晶硅片进行化学反应,静置2-4min,取出并通过清水进行清洗,然后通过烘干装置即可获得纳米级类金字塔结构的微纳复合绒面结构多晶黑硅。

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