[发明专利]一种活动密封装置有效
| 申请号: | 201910218689.8 | 申请日: | 2019-03-21 |
| 公开(公告)号: | CN110067493B | 公开(公告)日: | 2020-10-09 |
| 发明(设计)人: | 齐威;孟璐璐;李璟;齐月静;宗明成;王宇;杨光华;陈进新;苏佳妮;张清洋;卢增雄 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | E06B7/18 | 分类号: | E06B7/18;E06B7/28 |
| 代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 活动 密封 装置 | ||
本发明提供了一种活动密封装置,应用于具有密封要求和活动开口的系统,包括:活动门,活动门设置在所述系统的腔体外侧,对所述腔体进行密封;十字转盘,十字转盘设置在所述活动门的中心位置,与所述活动门可转动连接;拉杆机构,拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接,另一端所述十字转盘连接;压紧机构,压紧机构设置在所述活动门内侧,位于所述活动门四周边缘处,对腔体进行压紧密封。解决现有技术中活动门密封效果不佳,使用的端面密封存在压力不均匀和压力弱的技术问题,达到了通过一个转盘带动活动门四周的压紧机构同时压紧,保证活动门周边的密封压紧同步性和均匀性,密封效果佳的技术效果。
技术领域
本发明涉及微环境控制技术领域,尤其涉及一种活动密封装置。
背景技术
为了可以同时保证温度、压力、洁净度等多项指标的精确控制,微环境控制系统目标区域只能是一个密闭的小型局部空间。必须以设备为中心,在其周围构建一个密闭腔体。目前市场上成熟的一体化的微环境控制系统,大多体积较小,其密闭室采用一体化的结构密封,无须留有活动开口,但对于大型的检测设备或半导体装备,相应的其环控系统的体积也非常庞大,而且必须为设备留有活动的检修或观察窗。对于此类大型的系统,非活的部分采用固连的结构,再加上密封胶,其效果也非常良好,但对于活动部分,由于经常开启与关闭,其密封就存在问题。
目前常用活动门密封是在贴合面上安装相胶条,一侧边安装铰链,方便开闭,对边安装压紧把手,又或有采用磁条结构,通过磁力压紧胶条,达到密封的效果。前者不能在门板四周均匀施压,对于有严格要求的密封的结构,就不在适用。后者通过磁力压紧,一般磁力都较弱,不能达到很好的效果,如果采用强磁材料,又会产生别的副效。所以需要对不同的腔体设计其专用的密封活动门。
发明内容
本发明的目的是提供了一种活动密封装置,以便至少部分解决上述技术问题,该目的是通过以下技术方案实现。
本发明提供了一种活动密封装置,应用于具有密封要求和活动开口的系统,所述装置包括:活动门,所述活动门设置在所述系统的腔体外侧,对所述腔体进行密封;十字转盘,所述十字转盘设置在所述活动门的中心位置,与所述活动门可转动连接;拉杆机构,所述拉杆机构的一端分别经过所述活动门的四个顶角处与所述腔体连接,另一端所述十字转盘连接;压紧机构,所述压紧机构设置在所述活动门内侧,位于所述活动门四周边缘处,对所述腔体进行压紧密封。
优选的,所述活动门包括:定位台阶,所述定位台阶位于所述活动门外侧中心位置,对所述十字转盘进行定位;螺柱,所述螺柱设置在所述定位台阶上,通过所述螺柱将所述十字转盘与所述活动门进行连接。
优选的,所述活动门还包括:密封条,所述密封条设置在所述活动门内侧四周边缘处,且所述密封条的形状与所述活动门外围轮廓相匹配。
优选的,所述十字转盘包括:圆弧槽,所述圆弧槽设置在所述十字转盘与所述拉杆机构的连接处,当转动所述十字转盘时,所述拉杆机构能够在所述圆弧槽中进行伸缩运动。
优选的,所述圆弧槽的数量与所述拉杆机构的数量相同。
优选的,所述拉杆机构包括:四个拉杆,所述四个拉杆分别设置在所述活动门的四个顶角处,且所述拉杆的一端与所述十字转盘连接;四个直角压块,所述四个直角压块分别设置在所述活动门的四个顶角外侧,与所述四个拉杆对应连接,通过转动所述十字转盘,拉动拉杆带动所述直角压块对所述活动门进行压紧。
优选的,所述直角压块包括:直角固定架,所述直角固定架设置在所述活动门顶角外侧;连接杆,所述连接杆的一端与所述直角固定架外侧连接;活动板,所述活动板的一端具有一通孔,所述连接杆的另一端穿过所述通孔与所述活动板连接,且所述活动板的另一端具有一凹槽,通过所述凹槽与所述拉杆连接;其中,拉杆带动所述活动板在所述连接杆上移动,驱动所述直角固定架压紧所述活动门的顶角。
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