[发明专利]一种减振装置有效
| 申请号: | 201910218688.3 | 申请日: | 2019-03-21 |
| 公开(公告)号: | CN110081117B | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
| 发明(设计)人: | 齐威;杨光华;孟璐璐;李璟;宗明成;齐月静;王宇;卢增雄;陈进新;苏佳妮;张清洋 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号: | F16F13/00 | 分类号: | F16F13/00 |
| 代理公司: | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人: | 房德权 |
| 地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 装置 | ||
本发明提供了一种减振装置,包括:壳体由上壳体、下壳体套接构成,背部具有多个通孔,壳体的前侧面顶部设置有多个安装孔,所述通孔与所述安装孔数量相同;弹簧卡块嵌设在所述安装孔内;三角弹簧组件,三角弹簧组件卡设在所述壳体内,其中,所述三角弹簧组件包括:三角弹簧件,所述三角弹簧件顶部与所述弹簧卡块连接,弹簧卡块将所述三角弹簧件进行限定;调高件,调高件与三角弹簧件固定连接,调高件穿过通孔,且,在所述通孔内部可进行上下移动。解决被动隔振多用于固定负载应用,不适用于不同负载的减振要求,而主动隔振结构复杂的技术问题。达到适应不同负载的使用需求,同时构造简单,组装便捷,组合灵活的技术效果。
技术领域
本发明涉及精密仪器振动控制技术领域,尤其涉及一种减振装置。
背景技术
随着工业化进程的发展,光学检测、精密测量、精细加工以及半导体光刻制造在工业中应用越来越多。众多高精度的设备必然要求更高的工作环境,工作环境中的振动源来自地基振动、设备自身运动部件产生的振动以及其它外部干扰产生的振动,这些振动会对仪器设备精度产生重大的影响,为了采取有效措施来消除工作环境中振动的影响,振动隔离与振动控制技术的种类越来越多,深度越来越深。
目前常用隔振方法被动隔振和主动减振,被动隔振是采用固有频率较低的材料,置于设备与安装基础之间,通过较低的固有频率材料降低振动传递率,达到除振目的。主动隔振是指在振动控制过程中,根据所检测到的振动信号,应用一定的控制策略,经过实时计算,进而驱动作动器对控制目标施加一定的影响,达到抑制或消除振动的目的。前者多采用低刚度弹簧或橡胶,形式结构较为简单,多适于固定负载应用。后者结构系统复杂,成本较高。
发明内容
本发明的目的是提供了一种减振装置,以便至少部分解决上述技术问题,该目的是通过以下技术方案实现。
本发明提供了一种减振装置,所述装置包括:壳体,所述壳体由上壳体、下壳体套接构成,所述壳体背部具有多个通孔,且,所述壳体的前侧面顶部设置有多个安装孔,所述通孔与所述安装孔数量相同;弹簧卡块,所述弹簧卡块嵌设在所述安装孔内;三角弹簧组件,所述三角弹簧组件卡设在所述壳体内,其中,所述三角弹簧组件包括:三角弹簧件,所述三角弹簧件顶部与所述弹簧卡块连接,所述弹簧卡块将所述三角弹簧件进行限定;调高件,所述调高件与所述三角弹簧件固定连接,所述调高件穿过所述通孔,且,在所述通孔内部可进行上下移动。
优选的,所述壳体包括:上壳体,所述上壳体的背部设置有多个所述通孔,前侧面顶部设置有多个所述安装孔,且,在前侧面底部设置有多个圆弧槽,所述圆弧槽与所述安装孔连通,将所述三角弹簧件进行限定;下壳体,所述上壳体套接在所述下壳体内,所述下壳体的背部设置有与所述上壳体背部数量相同的所述安装孔,且,两者能够重叠。
优选的,所述下壳体还包括:平底槽,所述平底槽设置在所述下壳体的前侧底部,与所述圆弧槽一一对应,且,所述平底槽与所述三角弹簧件的底部连接。
优选的,所述下壳体还包括:四个调平单元,所述四个调平单元分别设置在所述下壳体的底板四个拐角处,其中,所述调平单元包括:调平螺栓,所述调平螺栓设置在所述下壳体底板的下方,且,贯穿所述下壳体的底板;调平螺母,所述调平螺母设置在所述下壳体底板的上方,与所述调平螺栓螺纹连接。
优选的,所述弹簧卡块包括:弹簧,所述弹簧设置在所述弹簧卡块的顶部,所述弹簧的上端与所述安装孔内的顶部连接;卡块,所述弹簧的下端与所述卡块的上端连接,所述卡块的下端与所述三角弹簧件的顶部连接。
优选的,所述三角弹簧件包括:尖角形弹簧,所述尖角形弹簧由第一部分和第二部分组成,其中,所述第一部分与所述第二部分之间形成一定夹角;导杆,所述导杆的第一端与所述尖角形弹簧所述第一部分远离所述第二部分的一端连接,所述导杆的第二端与所述尖角形弹簧所述第二部分远离所述第一部分的一端连接。
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