[发明专利]一种内嵌式激光参数综合自诊断系统及其工作流程

权利要求书

1.一种内嵌式激光参数综合自诊断系统，包括腔体（1），所述腔体（1）上设置有入射窗口（2），其特征在于，腔体（1）内部安装有电荷耦合器件（3）、第一衰减片（4）、第三反射镜（5）、第二反射镜（6）、凸透镜（7）、可饱和吸收体（8）、第一光电二极管（9）、第一反射镜（10）、第二光电二极管（11）、四象限探测器（12）和第二衰减片（13），入射窗口（2）、第一反射镜（10）和第二光电二极管（11）配合使用，第二反射镜（6）、第二衰减片（13）、凸透镜（7）、可饱和吸收体（8）以及第一光电二极管（9）配合使用，第三反射镜（5）、第一衰减片（4）和电荷耦合器件（3）配合使用，四象限探测器（12）与第三反射镜（5）配合使用，入射窗口（2）与激光器的分光输出口对接，第一光电二极管（9）和第二光电二极管（11）均与信号处理电路相连。

2.根据权利要求1所述的内嵌式激光参数综合自诊断系统，其特征在于，所述入射窗口（2）采用光学平面玻璃并且表面镶嵌有增透膜。

3.根据权利要求1或2所述的内嵌式激光参数综合自诊断系统，其特征在于，所述第一反射镜（10）和第二反射镜（6）与水平面的倾斜角度均为45度。

4.一种如权利要求1-3任一所述的内嵌式激光参数综合自诊断系统的工作流程，其特征在于，具体步骤如下：

步骤一，准直的入射激光光束穿过入射窗口（2）投射到第一反射镜（10）上，穿过第一反射镜（10）的激光光束投射到第二光电二极管（11）的光敏面上，第二光电二极管（11）进行光电转换，将光强参数转换为光电流强度参数并计数脉冲时间间隔输送给信号处理电路，信号处理电路完成运算和比较后换算出原始入射光功率值和脉冲重复频率值，并将此参数传送给总体测控系统，总体测控系统比较这些测量值与激光器预设值，判断当前实时测量的激光平均功率、重复频率是否正常；

步骤二，经首次反射的激光光束传输方向改变90°，穿过第二反射镜（6），第二反射镜（6）45度放置，其中反射的激光光束依次穿过第二衰减片（13）、凸透镜（7）以及可饱和吸收体（8），投射到第一光电二极管（9）的光敏面上，第一光电二极管（9）进行光电转换，将透过可饱和吸收体的光强参数转换为光电流强度参数并输送给信号处理电路，信号处理电路完成运算和比较后换算出入射光功率值，并将此参数传送给总体测控系统，总体测控系统比较这些测量值与激光器预设值，判断当前实时测量的激光峰值功率是否正常；

步骤三，透过第二反射镜（6）的激光光束投射到第三反射镜（5）表面，透过第三反射镜（5）的激光光束穿过第一衰减片（4）并且投射到电荷耦合器件（3）的光敏面上，电荷耦合器件（3）对采集到的光斑图样进行测量分析并给出光斑圆度、中心位置的信息，传输给总体测控系统，总体测控系统会读取这些参数并与激光器预设值对比，判断当前实时测量的激光横模模式是否正常；

步骤四，经第三反射镜（5）反射的激光光束传播方向旋转140°，投射到四象限探测器（12）的接收面，预设此时的四象限探测器（12）输出电流或电压值为原点，当激光光束中心位置有偏移，四象限探测器（12）的输出电学参数会随之变化，信号处理电路会据此计算并判断出激光光束指向点的偏移量，传输给总体测控系统，总体测控系统会读取这些参数并与激光器预设值对比，判断当前实时测量的激光束指向是否正常。