[发明专利]集成电路(IC)器件在审

专利信息
申请号: 201910206911.2 申请日: 2019-03-19
公开(公告)号: CN110858590A 公开(公告)日: 2020-03-03
发明(设计)人: 金炫助;全众源 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/088 分类号: H01L27/088;H01L21/8234
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 王新华
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 集成电路 ic 器件
【权利要求书】:

1.一种集成电路器件,包括:

逻辑单元,具有由单元边界限定的区域,

所述逻辑单元包括第一器件区域、器件隔离区域和第二器件区域,

所述第一器件区域和所述第二器件区域布置为在第一方向上彼此间隔开,所述第一方向垂直于第二方向,

所述器件隔离区域在所述第一器件区域和所述第二器件区域之间,

所述第一器件区域在所述第二方向上的第一最大长度小于所述单元边界在所述第二方向上的宽度,并且

所述第二器件区域在所述第二方向上的第二最大长度等于所述单元边界在所述第二方向上的宽度。

2.如权利要求1所述的集成电路器件,其中

所述逻辑单元还包括在所述第二方向上以第一节距布置的多个栅极结构,

所述多个栅极结构中的每个在至少所述第一器件区域之上在所述单元边界内在所述第一方向上延伸,并且

所述第二最大长度和所述第一最大长度之间的差异等于所述第一节距。

3.如权利要求1所述的集成电路器件,其中

所述单元边界包括一对竖直边界线,

所述一对竖直边界线的每个在所述逻辑单元的高度方向上延伸并彼此平行,并且

所述一对竖直边界线限定所述逻辑单元的宽度,

所述第一器件区域与所述一对竖直边界线中的一个竖直边界线间隔开,并且

所述第二器件区域的在所述第二方向上彼此相反的一对侧面分别与所述一对竖直边界线相接。

4.如权利要求1所述的集成电路器件,其中

所述逻辑单元包括一个或更多个第一鳍型有源区域和第一鳍分隔绝缘部分,

所述一个或更多个第一鳍型有源区域位于所述第一器件区域上并在所述第二方向上延伸,

所述第一鳍分隔绝缘部分在所述一个或更多个第一鳍型有源区域和所述单元边界之间,

所述第一鳍分隔绝缘部分面对所述第二器件区域,所述器件隔离区域在所述第一鳍分隔绝缘部分和所述第二器件区域之间,

所述一个或更多个第一鳍型有源区域与所述单元边界间隔开第一距离,并且

所述第一鳍分隔绝缘部分在所述一个或更多个第一鳍型有源区域和所述单元边界之间。

5.如权利要求4所述的集成电路器件,其中

所述逻辑单元还包括一个或更多个第二鳍型有源区域和第二鳍分隔绝缘部分,

所述一个或更多个第二鳍型有源区域在所述第二器件区域上并在所述第二方向上延伸,

所述第二鳍分隔绝缘部分包括面对所述一个或更多个第二鳍型有源区域的端部的侧壁,

所述第二鳍分隔绝缘部分在所述第一方向上沿着所述单元边界在与所述单元边界重叠的位置延伸,

在所述第二方向上,所述一个或更多个第二鳍型有源区域与所述单元边界间隔开第二距离,

所述第二鳍分隔绝缘部分在所述一个或更多个第二鳍型有源区域和所述单元边界之间,并且

所述第二距离小于所述第一距离。

6.如权利要求1所述的集成电路器件,其中

所述逻辑单元包括第一鳍分隔绝缘部分和第二鳍分隔绝缘部分,

所述第一鳍分隔绝缘部分在所述单元边界的竖直边界线和所述第一器件区域之间,

所述第一鳍分隔绝缘部分具有在所述第二方向上的第一宽度,所述竖直边界线在所述第一方向上延伸,所述第二鳍分隔绝缘部分在所述第二器件区域中沿着所述竖直边界线延伸,

所述第二鳍分隔绝缘部分具有在所述第二方向上的第二宽度,并且

所述第二宽度小于所述第一宽度。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星电子株式会社,未经三星电子株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910206911.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top