[发明专利]一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺

说明书

本发明涉及大气污染控制和环境保护的技术领域，特别是涉及一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺，本发明是一种三级分步处理的洗涤吸收和吸附的装置和工艺方法，针对煤化工、石油化工以及新材料行业生产系统排出尾气，采用添加药剂吸收、碱液洗涤、填料分离、吸附等综合性工艺装置及工艺方法，达到尾气处理的排放标准。本发明对药剂的还原洗涤塔、碱洗塔及吸附塔等整个系统工艺参数和设备布置进行优化，与当前工艺处理不彻底、尾气处理能耗高、处理流程单一相比，具有安全型、环保型和节能型等特点，减少了设备投资，节约了电耗等，对NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气排放能有效保护环境和大气污染。

技术领域

本发明涉及大气污染物VOC的控制和环境保护的技术领域，特别是涉及一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺。

背景技术

众所周知，多晶硅是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料，当前多晶及单晶硅生产系统中排出的NO_x、HF、HCl、烧碱雾及其他VOC尾气气体，该类气体为对人体有害的有机物气体，成分复杂，具有腐蚀性，对大气的污染严重。该系统尾气组分复杂，且尾气的排放状态具有不稳定性、爆发性、突发性、腐蚀性、尾气的浓度变化大等特点，目前市场上通常采用工艺装置及方法，都比较单一，无法达到处理的目的，例如纯净水吸收工艺方法，采用纯净水进行洗涤吸收，能吸收部分氟化氢、氯化氢、但氮氧化物、烧碱物无法去除；吸附工艺，采用活性碳及吸附剂进行吸附处理，吸收一些氟化氢、氯化氢、烧碱物，氮氧化物和惰性气体不能去除；因此研究出一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺是迫在眉睫的。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种的具有安全型、环保型和节能型的特点，能有效控制NOx、HF、HCl、烧碱雾达标排放和环境保护的NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置及工艺。

本发明的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理工艺方法，包括以下步骤：

(1)药剂配置：将药剂与水经过加药配置罐配置成20％的药剂，用PLC进行控制药剂的进料及浓度监测；

(2)氮氧化物吸收：经过加药进料泵把药剂进到还原洗涤塔，与来自系统排放的尾气进行洗涤吸收，吸收尾气的氮氧化物；

(3)酸性气体吸收：还原洗涤塔顶部尾气进入碱洗塔，采用碱性水进行循环吸收洗涤氯化氢和氟化氢等气体组分；

(4)去除酸性气体：碱洗塔尾气部分进入吸附塔，吸附塔对少量氯化氢和氟化氢气体再次吸附处理；

(5)尾气排放：经过三级活性碳吸附的尾气由变频风机抽到排气筒，排气筒设计高度33米以上进行高空达标排放，排气筒底部设置收集罐。

本发明的一种NOx、HF、HCl、烧碱雾及惰性尾气吸收处理装置，包括以下单元：

加药单元：加药配置罐与加药进料泵连接，加药进料泵通过药剂输送管线与还原洗涤塔进行连接；

吸收单元：系统尾气排出的尾气与还原洗涤塔连接，通过排风风管送到还原洗涤塔进口，还原洗涤塔底部排出与还原洗涤塔循环泵连接，还原洗涤塔循环泵的排出液与废水收集罐连接；

碱洗单元：还原洗涤塔顶部排出的尾气与碱洗塔进行连接，碱洗塔底部循环液与碱洗塔循环泵连接，碱洗塔顶部与碱液管道连接，碱洗塔顶部排出的尾气通过管道与吸附塔连接；

吸附单元：吸附塔底部吸附液与吸附塔循环泵连接；

尾气排放单元：吸附塔排出的气体与变频风机连接，变频风机与排气筒连接，排气筒与底部收集罐法兰连接。