[发明专利]一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置有效
申请号: | 201910201846.4 | 申请日: | 2019-03-18 |
公开(公告)号: | CN109837530B | 公开(公告)日: | 2021-04-30 |
发明(设计)人: | 潘文高;李朝明;韩虹;杜森;李运红 | 申请(专利权)人: | 上海离原环境科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/513 | 分类号: | C23C16/513;C23C16/458;C23C16/02;C23C16/34;B24B19/00 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 空心 阴极 离子镀 氮化 薄膜 装置 | ||
本发明公开了一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,包括底板、开放式箱体和镀膜箱,开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧,开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆,第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构,开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构,夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部,开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽。本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,通过设有的打磨机构,能够对工件的表面打磨,减小工件表面的粗糙度,增强抛光工件镀膜后基体表面与薄膜的结合力,通过向清洗槽内注入特殊的清洗剂,利用超声波对油污层进行冲刷破坏。
技术领域
本发明涉及等离子镀相关领域,具体为一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。
背景技术
近年来,国内外利用涂覆技术制备新型刀具的发展非常迅速,把超硬薄膜刀具的问世称为“刀具革命”。特别是氮化钛薄膜,欧美各发达国家都致力于发展这项技术。TIN镀层有十分优越的特性:a)TIN镀层的显微硬度明显高于高速钢,且在800℃以上仍有较高的硬度,有TIN镀层的高速钢刀具能适用较高切削温度;b)TIN镀层的热稳定性好,有很好的化学惰性,减少了刀具切削过程中的氧化磨损;c)镀层材料的导热系数低,减少了切削热对高速钢基体的影响,保持了基体材料强度,因此有TIN镀层的高速钢刀具能在较大的切削速度或送进量下进行工作。
目前现有的对刀具镀膜装置,存在镀层材料与基体材料间的结合力不是很好,镀层组织均匀致密硬度不够高,且镀层不具有一定抗磨损厚度。因此我们对此做出改进,提出一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。
发明内容
为解决现有技术存在的缺陷,本发明提供一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。
为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:
本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,包括底板、开放式箱体和镀膜箱,所述开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧,所述开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆,所述第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构,所述开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构,所述夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部,所述开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽,所述清洗槽的底端设置有防水箱,所述防水箱内设置有推送机构,所述镀膜箱内腔的两侧均设置有用于放置工件的放置机构,所述镀膜箱顶端的一侧设置有真空泵,所述第一电动推杆通过外接第一电推杆开关与外接电源电性连接,所述真空泵通过外接真空开关与外接电源电性连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述打磨机构包括活动板、电机和打磨轮,所述活动板与第一电动推杆固定连接,所述电机固定设置在活动板的顶端,所述电机的输出轴穿过活动板并与打磨轮传动连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述夹紧机构包括固定杆、螺纹杆、挤压片和第一旋转把手,所述固定杆与开放式箱体固定连接,所述螺纹杆置于固定杆内部并与其螺纹连接,所述螺纹杆的一端与挤压片固定连接,所述螺纹杆的另一端穿过开放式箱体与第一旋转把手固定连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述推送机构包括第二电动推杆和放置板,所述第二电动推杆的底端与防水箱固定连接,所述第二电动推杆的顶端穿过防水箱并与放置板固定连接,所述第二电动推杆通过外接第二电推杆开关与外接电源电性连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述放置机构包括第三电动推杆和挡板,所述第三电动推杆的一端与镀膜箱活动连接,所述第三电动推杆的另一端与挡板固定连接,所述挡板顶部的一侧贯穿开设有滑槽,两个所述滑槽内部的底端分别设置有电源正负极,所述镀膜箱远离开放式箱体的一侧设置有第二旋转把手,所述第二旋转把手穿过镀膜箱并与第三电动推杆固定连接,所述第三电动推杆推杆外接第三电推杆开关与外接电源电性连接。
作为本发明的一种优选技术方案,所述活动板底端的一侧固定设置有鼓风机,所述鼓风机通过外接风机开关与外接电源电性连接。
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C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
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