[发明专利]一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置有效

专利信息
申请号: 201910201846.4 申请日: 2019-03-18
公开(公告)号: CN109837530B 公开(公告)日: 2021-04-30
发明(设计)人: 潘文高;李朝明;韩虹;杜森;李运红 申请(专利权)人: 上海离原环境科技有限公司
主分类号: C23C16/513 分类号: C23C16/513;C23C16/458;C23C16/02;C23C16/34;B24B19/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200241 上海市闵行区东川*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 空心 阴极 离子镀 氮化 薄膜 装置
【说明书】:

发明公开了一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,包括底板、开放式箱体和镀膜箱,开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧,开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆,第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构,开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构,夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部,开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽。本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,通过设有的打磨机构,能够对工件的表面打磨,减小工件表面的粗糙度,增强抛光工件镀膜后基体表面与薄膜的结合力,通过向清洗槽内注入特殊的清洗剂,利用超声波对油污层进行冲刷破坏。

技术领域

本发明涉及等离子镀相关领域,具体为一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。

背景技术

近年来,国内外利用涂覆技术制备新型刀具的发展非常迅速,把超硬薄膜刀具的问世称为“刀具革命”。特别是氮化钛薄膜,欧美各发达国家都致力于发展这项技术。TIN镀层有十分优越的特性:a)TIN镀层的显微硬度明显高于高速钢,且在800℃以上仍有较高的硬度,有TIN镀层的高速钢刀具能适用较高切削温度;b)TIN镀层的热稳定性好,有很好的化学惰性,减少了刀具切削过程中的氧化磨损;c)镀层材料的导热系数低,减少了切削热对高速钢基体的影响,保持了基体材料强度,因此有TIN镀层的高速钢刀具能在较大的切削速度或送进量下进行工作。

目前现有的对刀具镀膜装置,存在镀层材料与基体材料间的结合力不是很好,镀层组织均匀致密硬度不够高,且镀层不具有一定抗磨损厚度。因此我们对此做出改进,提出一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。

发明内容

为解决现有技术存在的缺陷,本发明提供一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置。

为了解决上述技术问题,本发明提供了如下的技术方案:

本发明一种空心阴极等离子镀氮化钛薄膜的装置,包括底板、开放式箱体和镀膜箱,所述开放式箱体和镀膜箱分别固定设置在底板顶端的两侧,所述开放式箱体内腔顶端的两侧均设置有第一电动推杆,所述第一电动推杆的底端固定设置有用于打磨工件的打磨机构,所述开放式箱体内腔中部的两侧均设置有用于夹紧工件的夹紧机构,所述夹紧机构的一端穿过开放式箱体并置于其外部,所述开放式箱体内腔的底端设置有清洗槽,所述清洗槽的底端设置有防水箱,所述防水箱内设置有推送机构,所述镀膜箱内腔的两侧均设置有用于放置工件的放置机构,所述镀膜箱顶端的一侧设置有真空泵,所述第一电动推杆通过外接第一电推杆开关与外接电源电性连接,所述真空泵通过外接真空开关与外接电源电性连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述打磨机构包括活动板、电机和打磨轮,所述活动板与第一电动推杆固定连接,所述电机固定设置在活动板的顶端,所述电机的输出轴穿过活动板并与打磨轮传动连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述夹紧机构包括固定杆、螺纹杆、挤压片和第一旋转把手,所述固定杆与开放式箱体固定连接,所述螺纹杆置于固定杆内部并与其螺纹连接,所述螺纹杆的一端与挤压片固定连接,所述螺纹杆的另一端穿过开放式箱体与第一旋转把手固定连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述推送机构包括第二电动推杆和放置板,所述第二电动推杆的底端与防水箱固定连接,所述第二电动推杆的顶端穿过防水箱并与放置板固定连接,所述第二电动推杆通过外接第二电推杆开关与外接电源电性连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述放置机构包括第三电动推杆和挡板,所述第三电动推杆的一端与镀膜箱活动连接,所述第三电动推杆的另一端与挡板固定连接,所述挡板顶部的一侧贯穿开设有滑槽,两个所述滑槽内部的底端分别设置有电源正负极,所述镀膜箱远离开放式箱体的一侧设置有第二旋转把手,所述第二旋转把手穿过镀膜箱并与第三电动推杆固定连接,所述第三电动推杆推杆外接第三电推杆开关与外接电源电性连接。

作为本发明的一种优选技术方案,所述活动板底端的一侧固定设置有鼓风机,所述鼓风机通过外接风机开关与外接电源电性连接。

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