[发明专利]一种基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构

权利要求书

1.一种基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，包括：

安装面板；

固定面板，其固定可拆卸的安装在所述安装面板上；

第一原始驱动块，其可拆卸的安装在所述固定面板上；

其中，所述第一原始驱动块上包括多个第一竖直支撑架、在所述第一竖直支撑架之间柔性连接的第一直接驱动块和与所述第一直接驱动块柔性连接的第一输出块；

第二原始驱动块，其可拆卸的安装在所述固定面板上；

其中，所述第二原始驱动块上包括多个竖直支撑板、多个第二竖直支撑架，在所述竖直支撑板之间柔性连接的第二直接驱动块、在所述第二直接驱动块和所述第二竖直支撑架之间柔性连接的第三直接驱动块和与所述第二直接驱动块和所述第三直接驱动块同时柔性连接的第二输出块；

两个第三原始驱动块，其可拆卸的安装在所述固定面板上；

其中，所述第三原始驱动块包括多个第三竖直支撑架、在所述第三竖直支撑架之间柔性连接的第四直接驱动块、第五直接驱动块和与所述第四直接驱动块和所述第五直接驱动块同时柔性连接的第三输出块；

输出架，其同时可拆卸的与所述第一输出块、所述第二输出块和所述第三输出块连接；

其中，所述第一原始驱动块、所述第二原始驱动块、所述第三原始驱动块均由直梁型柔性链所构成的平行四边形结构在所述固定面板上垂直排布组成。

2.如权利要求1所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第一原始驱动块还包括：

第一底板，其可拆卸的安转在所述固定面板上；

所述第一竖直支撑架为2个，对称固定安装在所述第一底板上。

3.如权利要求2所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第二原始驱动块还包括：

第二底板，其可拆卸的安装在所述固定面板上；

所述竖直支撑板和所述第二竖直支撑架固定安装在所述第二底板上；

所述第二竖直支撑架包括2个第二竖直主支撑架和第二竖直副支撑架；

其中，所述第三直接驱动块柔性连接在所述第二竖直副支撑架和所述第二直接驱动块之间。

4.如权利要求3所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第二原始驱动块还包括：

连接块，其柔性连接在所述第二竖直主支撑架之间，并且同时与所述第二输出块柔性连接。

5.如权利要求4所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第三原始驱动块还包括：

第三底板，其可拆卸的安装在所述固定面板上；

所述第三竖直支撑架固定安装在所述第三底板上；

所述第三竖直支撑架包括4个第三竖直主支撑架和2个第三竖直副支撑架；

其中，所述第四直接驱动块柔性连接在所述第三竖直副支撑架之间，所述第五直接驱动块柔性连接在靠近所述第三竖直副支撑架的2个所述第三竖直主支撑架之间。

6.如权利要求5所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述输出架还包括：

第一导向块，其可拆卸的与所述第一输出块连接；

第二导向块，其可拆卸的与所述第二输出块连接；

第三导向块，其两端可拆卸的同时与两个所述第三输出块连接；以及

第四输出块，其柔性连接在所述第一导向块和所述第二导向块之间，并且同时与所述第三导向块的中部柔性连接。

7.如权利要求5所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第一底板、所述第二底板和所述第三底板上均设置通孔，其用于与所述固定面板可拆卸的连接。

8.如权利要求7所述的基于柔性铰链的模块化六自由度精密微动机构，其特征在于，所述第一底板、所述第二底板和所述第三底板上均设置预紧螺纹孔，其用于压电陶瓷预紧。