[发明专利]碳纳米颗粒制取系统、碳纳米颗粒气溶胶生成系统及方法

权利要求书

1.一种碳纳米颗粒气溶胶生成系统，其特征在于，包括碳纳米颗粒制取系统，用于制取碳纳米颗粒；还包括：

洁净空气进气装置，所述洁净空气进气装置与所述过滤室连通，通过所述洁净空气进气装置将所述过滤室内的碳纳米颗粒反向吹出，生成碳纳米颗粒气溶胶；

所述碳纳米颗粒制取系统，包括：

甲烷充气装置、氩气充气装置；

混合室，所述混合室与所述甲烷充气装置、所述氩气充气装置相连，所述甲烷充气装置向所述混合室充入甲烷，所述氩气充气装置向所述混合室充入氩气，甲烷和氩气在所述混合室进行混合；

钨电极管，所述钨电极管与所述混合室相连；

射频电源，所述射频电源与所述钨电极管接通，氩气和甲烷在所述钨电极管内发生反应后生成碳纳米颗粒；

加热室，所述加热室与所述钨电极管连通，在所述钨电极管内生成的碳纳米颗粒进入到所述加热室进行加热保温；

过滤室，在所述过滤室内设有滤膜，所述过滤室与所述加热室连通，所述加热室内的碳纳米颗粒进入到所述过滤室内过滤在所述滤膜上。

2.根据权利要求1所述的碳纳米颗粒气溶胶生成系统，其特征在于，还包括：

洁净空气进气阀门，安装在所述洁净空气进气装置与所述过滤室之间的进气管路上；

第三转子流量计，所述第三转子流量计安装在所述洁净空气进气装置与所述过滤室之间的进气管路上。

3.根据权利要求1或2所述的碳纳米颗粒气溶胶生成系统，其特征在于，还包括：

中和器，所述中和器与所述过滤室连通，用于接收所述过滤室的碳纳米颗粒气溶胶，去除碳纳米颗粒气溶胶的电荷；

干燥器，所述干燥器与所述中和器连通，用于接收所述中和器的碳纳米颗粒气溶胶，除去碳纳米颗粒气溶胶的水分生成洁净碳纳米颗粒气溶胶。

4.根据权利要求1所述的碳纳米颗粒气溶胶生成系统，其特征在于，还包括：

真空泵，所述真空泵通过管路与所述过滤室连通，作为动力源；

废气出口阀门，所述废气出口阀门安装在所述过滤室与所述真空泵之间的管路上。

5.根据权利要求1所述的碳纳米颗粒气溶胶生成系统，其特征在于，还包括：

甲烷进气阀门，安装在所述甲烷充气装置与所述混合室之间的进气管路上；

第一转子流量计，所述第一转子流量计安装在所述甲烷充气装置与所述混合室之间的进气管路上。

6.根据权利要求1或5所述的碳纳米颗粒制取系统，其特征在于，还包括：

氩气进气阀门，安装在所述氩气充气装置与所述混合室之间的进气管路上；

第二转子流量计，所述第二转子流量计安装在所述氩气充气装置与所述混合室之间的进气管路上。

7.一种根据权利要求3中所述的碳纳米颗粒气溶胶生成系统的生成方法，包括以下步骤：

步骤A、打开所述射频电源；

步骤B、先打开所述氩气进气阀门，通一段时间氩气，再打开所述甲烷进气阀门，甲烷和氩气在所述钨电极管内发生反应生成碳纳米颗粒；

步骤C、碳纳米颗粒通入所述加热室再到所述过滤室吸附在所述滤膜上，废气通过所述真空泵排除；

步骤D、关闭所述射频电源，关闭所述甲烷进气阀门，通一段时间氩气，关闭所述氩气进气阀门；

步骤E、加热所述过滤室，再打开所述洁净空气进气阀门，将碳纳米颗粒反向吹出通过所述中和器和所述干燥器后得到纯净碳纳米颗粒气溶胶。