[发明专利]一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源在审
| 申请号： | 201910192042.2 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN109951945A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 周海山;袁小刚;罗广南;李波;李建刚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 宋仔娟 |
| 地址： | 230031 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 辐照 联片 等离子体源 阳极 阴极 等离子体通道 绝缘连接件 直流弧放电 扁平型 放电室 通孔 等离子体 大面积样品 并行设置 对比实验 通孔内壁 阳极安装 聚变堆 相邻级 小样品 放电 点源 附着 级联 面源 室外 拓展 | ||
1.一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：包括阴极、阳极，所述阴极安装于放电室中，阳极安装于放电室外，阳极与阴极之间采用多个并行设置的级联片连接，所述级联片与放电室之间、相邻级联片之间均通过绝缘连接件连接；所述级联片、绝缘连接件的中心开有通孔作为等离子体通道，所述阳极附着在最末端级联片的通孔内壁上，阳极的中心也开有通孔作为等离子体通道。
2.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述阴极由六硼化镧或者钨制成。
3.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述阴极为平板式或阵列。
4.根据权利要求3所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述阴极尺寸为：长度10-150mm，宽度3-20mm。
5.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述级联片的材料为铜或钢，级联片中心的等离子体通道形状为矩形、尺寸为长度5-120mm，宽度3-12mm。
6.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述级联片内部开槽作为水冷流道。
7.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述绝缘连接件的材料为绝缘陶瓷或特氟龙，绝缘连接件中心的等离子体通道的形状为矩形、尺寸为长度5-120mm，宽度3-12mm。
8.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述阳极的材料为铜或钢；所述阳极出口处与等离子体强烈接触处材料为钨、钼或者其合金。
9.根据权利要求8所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述阳极中心的等离子体通道形状为矩形、尺寸为长度5-120mm，宽度3-12mm；阳极出口可根据需要修正形状为跑道形，或根据等离子体参数需要制作成拉瓦尔喷嘴构型。
10.根据权利要求1所述的一种扁平型大面积高密度直流弧放电等离子体源，其特征在于：所述放电室的材料为铜或者钢，放电室内部做夹层水冷或者盘管水冷。
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