[发明专利]一种激发光偏振高速调控装置

权利要求书

1.一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，包括：

激发光偏振调控机构，用于将所述激发光调制机构产生的两束或三束激发光偏振调制为偏振方向垂直于激发光光轴所在平面的线偏振光，并将调制后的两束或三束激发光输送至显微成像系统，完成结构光照明超分辨成像所需的条纹状照明；

所述激发光偏振调控机构包括：

偏振旋转组合波片，用于对经所述激发光调制机构调制后的两束激发光的偏振状态进行调控；

遮光板，用于去掉所述激发光调制机构产生的杂散激发光；

其中，所述激发光偏振调控机构还包括：

第一刀锋反射镜，设置在所述激发光调制机构和偏振旋转组合波片之间，用于将所述激发光调制机构产生的一束激发光反射切出；

反射镜组，包括第一反射镜和第二反射镜，其用于将所述第一刀锋反射镜反射切出的一束激发光反射到所述遮光板和显微成像系统之间的位置；

偏振状态调控单元，用于调控所述反射镜组反射的激发光的偏振状态；

第二刀锋反射镜，用于将所述偏振状态调控单元调控后的激发光反射到与经所述激发光调制机构调制的激发光平行，并一起进入显微成像系统。

2.根据权利要求1所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述激发光调制机构包括激发光发生组件、第一扩束透镜组、第一偏振分束器、消色差半波片、空间光调制器和第一透镜，

所述第一扩束透镜组，用于将激发光发生组件产生的初始激发光进行扩束；

所述第一偏振分束器，用于将经扩束后的初始激发光进行分束后，将经分束后得到的激发光依次发送至所述消色差半波片和空间光调制器；

所述空间光调制器，用于将从所述消色差半波片接收到的激发光进行调制，并将调制后的激发光分为两或三束后，再依次将两或三束激发光发送给所述消色差半波片和第一偏振分束器；

所述第一透镜，用于将依次经过所述消色差半波片和第一偏振分束器的两或三束激发光汇聚成平行光后，将平行的两或三束激发光发送给所述激发光偏振调控机构。

3.根据权利要求1所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述偏振旋转组合波片由1-3对半波片拼接而成，或由不少于5对半波片拼接而成。

4.根据权利要求1所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，在所述第一刀锋反射镜和第一反射镜之间设置有第二透镜。

5.根据权利要求1所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述激发光调制机构上设置有第二偏振分束器，所述激发光偏振调控机构还包括第三反射镜、偏振状态调控单元和第三刀锋反射镜，

所述第二偏振分束器，用于将经激发光调制机构产生的初始激发光进行分束，将经分束后得到的一束激发光发送给第三反射镜；

所述第三反射镜，用于将所述第二偏振分束器分出的一束激发光反射到所述遮光板和显微成像系统之间的位置；

偏振状态调控单元，用于将经所述第三反射镜反射的激发光进行偏振状态调控；

第三刀锋反射镜，用于将所述偏振状态调控单元调控后的激发光反射到与经所述激发光调制机构调制的激发光平行，并一起进入显微成像系统。

6.根据权利要求1或5所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述偏振状态调控单元包括相位延迟器和消色差四分之一波片。

7.根据权利要求6所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述消色差四分之一波片和第二刀锋反射镜或第三刀锋反射镜之间依次设置有第二扩束透镜组和第三透镜。

8.根据权利要求7所述的一种激发光偏振高速调控装置，其特征在于，所述第一刀锋反射镜和第二刀锋反射镜或第三刀锋反射镜的表面镀有一层金属反射膜或增反介质膜。