[发明专利]一种轴流式微型压电气体压缩机

权利要求书

1.一种轴流式微型压电气体压缩机，其特征在于：整体由套筒、上盖、上板、中间层、下板、下盖、第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子、第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、第四单向阀、冷却套和密封圈构成；上盖、上板、中间层、下板、下盖从上至下依次相连；所述上盖设置有气体入口；所述上盖与上板之间设置有第一压电振子，上盖在朝向第一压电振子方向设置有第一泵腔；所述第一泵腔与气体入口连通；所述上板与中间层之间设置有第二压电振子，上板在第一压电振子和第二压电振子之间设置有第二泵腔，第二泵腔连通第一压电振子与第二压电振子；所述中间层与下板之间设置有第三压电振子，中间层在第二压电振子与第三压电振子之间设置有第三泵腔，第三泵腔连通第二压电振子与第三压电振子；所述下板与下盖之间设置有第四压电振子，下板在第三压电振子与第四压电振子之间设置有第四泵腔，第四泵腔连通第三压电振子与第四压电振子；所述下盖在朝向第四压电振子一侧设置有第五泵腔；所述下盖下端设置有气体出口；所述气体出口与第五泵腔连通；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子均由金属基板和压电陶瓷片同心粘接而成；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子在金属基板外周边缘上下两侧均设置有密封圈；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子的中心都开设有中心孔；所述第一单向阀、第二单向阀、第三单向阀、第四单向阀分别安装在第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子的中心孔处；所述第一压电振子、第二压电振子、第三压电振子、第四压电振子的直径从上到下依次减小，第二泵腔、第三泵腔、第四泵腔的体积也依次减小。

2.根据权利要求1所述的轴流式微型压电气体压缩机，其特征在于：所述冷却套套设在上盖、上板、中间层、下板和下盖连接体外围，并与上盖、上板、中间层、下板和下盖连接体外围表面充分接触，接触面涂有导热胶；所述冷却套设置有冷却管道；所述冷却套外围连接有套筒，套筒上设置有冷却液入口和冷却液出口。

3.根据权利要求2所述的轴流式微型压电气体压缩机，其特征在于：所述冷却管道为螺旋式冷却管道。