[发明专利]一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机

说明书

本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机，整体由套筒、上盖、上板、下板、下盖、第一驱动组块、第二驱动组块、第三驱动组块、密封圈、冷却套组成；上盖的下端面与上板的上端面之间安装有第一驱动组块，上板的下端面与下板的上端面之间安装有第二驱动组块，下板的下端面与下盖的上端面之间安装有第三驱动组块；所述第一驱动组块包括三个第一压电振子，第二驱动组块包括两个第二压电振子，第三驱动组块包括一个第三压电振子。特色及优势：通过各驱动组块内腔体个数递减的方式实现气体累积增压，在工作上能同时实现大流量和大压力，且整体由压电振子、单向阀以及盖板组成结构简单，成本低。

技术领域

本发明属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机。

背景技术

由于微型压缩机体积小、结构紧凑以及高的控制精度等优势，目前已广泛应用于电子冷却、化学合成、气体输送以及航空航天等领域。中国专利CN105321404A提出了一种电磁式压缩机，主要包括固定壳体、进气管、出气管、气缸、活塞、传动架、衔铁铁芯和电磁线圈，该电磁式压缩机控制容易，电磁力大；中国专利CN207048923U提出一种单驱动式天然气用微型循环压缩机，采用立式结构进行压缩机结构设计，通过电机驱动，占地面积小，便于维护和搬运。但电机驱动的微型气体压缩机结构复杂、体积大、功耗高且存在电磁干扰，不便用于系统的集成化和微型化。人们又相继提出了气动式和静电驱动式气体压缩机。其中，气动式需要单独气源进行驱动，无法用于便携式或者独立仪器设备；静电驱动式因膜片驱动力小且需要高电压驱动，很难输出高压力气体。

微型压电气体压缩机结构简单、功耗低、能量密度高、无电磁干扰且易于控制，是构造微型气体压缩机的有效方法。然而现有微型压电气体压缩机多为单腔体结构，导致压缩机的压升能力不足，只能达到对流体进行泵送的压力水平，且由于气体的易压缩性和单个压电振子自身驱动能力的限制，其能量密度不高，从而限制了微型压电气体压缩机的实际应用。

发明内容：